铯离子枪 碱性离子枪Ion Guns Model 1403Cs – Cesium/Alkali Ions 束斑可调

Nonsequitur 铯离子枪 碱性离子枪设计特点

• 用户可更换Frit离子源以产生各种离子
• 光斑可调 75um to >1mm for spatially defined sputtering
• 连续可变束流能量，最高 5keV
• 使用光束弯曲光学元件进行中性种抑制
• BTOF SIMS的光束消隐能力
• 集成束流监控能力
• 可选光束束电极
• 采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
• 用于减小光斑尺寸的透镜偏转
• 差速泵，以尽量减少主腔室气体负载