气相源
Nonsequitur Technologies 的电子碰撞离子源可以从多种原料气中产生离子，包括氢气、氦气、氖气、氩气、氙气和氮气。使用可选的 Thoria 涂层铱丝，还可以产生氧离子。这些源有多种几何形状可供选择，具体取决于所需的离子电流和最终聚焦尺寸。
碱金属源
离子源可通过从含有目标材料的熔块表面电离来产生碱离子。可以产生 Cs、Li、Na、K 和其他离子种类。这些源可以集成到我们的任何聚焦柱中。
固相源
通过使用烘箱将材料蒸发到电子碰撞离子的源区域，离子源可以从室温下为固体的材料中产生。离子由锡和其他材料制成。此外，还成功生产了 C60 和其他有机离子。源寿命通常为 10e4 nA 小时。
Nonsequitur 离子枪离子源 Ion Guns Model 1407 设计特点
- 紧凑型离子源，双等离子发射器
- 可调节的束斑， ≥ 15µm ，用于空间定义的溅射
- 可调节发射，提供稳定的束流，前面板可调动态范围 x300
- 连续可变电子束能量，最高达 5keV
- 用于电子束扫描和校正的双电极
- 用于减小束斑大小的预目标透镜偏转
- 集成束流大小监测
- 灯丝不直接到样品，避免不必要的样品污染
- 可更换电子束修剪孔径板，典型使用寿命> 500 hours
- 提供双灯丝备份
- 内部源压力传感器，允许监控离子源压力
- 采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
- 差速泵，以尽量减少主腔室气体负载
- 在惰性气体下运行
