美国Nonsequitur Technologies,离子枪1450型,高能离子枪,发射调节轰击提供稳定的离子电流,可调节斑点尺寸≥为5微米,空间定义的溅射或植入
离子枪1450型
高能离子枪
发射调节轰击提供稳定的离子电流
连续可变束能量 5kV 至 50kV
双重八极光束扫描和散光校正
预物镜扫描以减少斑点大小
为了避免样品污染，没有直接的灯丝连接到样品视线
客户可更换的灯丝和光束修剪孔径
双丝在耗材寿命终止时提供运行备份
所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料
差动泵送以减少主腔室气体负荷
工作范围涵盖惰性气体和氮气
模式 | 点状尺寸（μm FWHM） | 束流 | 电流密度（A/cm²） |
|---|---|---|---|
大点 | 25 | 20μA | 4 |
中点 | 8 | 5μA | 10 |
小点 | 5 | 500nA | 2.5 |
元件 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自动选择 |
束流能量 | 0-50,000伏，1毫安 |
聚焦，电容 | 0-40,000伏，1mA |
丝材功率 | 发射规定，5V，最大5安培 |
电离 | 电子加速电压和发射软件可选择 |
离子提取 | 0-2500V软件可选 |
挠度 | +X、-Y、+Y和-Y的+/-400VDV电源。其余八极元件由电阻分压器网络供电。可选8通道偏转电源，具散光校正和次级电子成像功能 |
联 锁 | 系统与辅助联锁 |
用户界面 | 基于USB的图形用户界面 |
底盘尺寸 | 483（宽） x 267（高） x 435（深） 毫米。机架安装机箱 6U |
