美国Nonsequitur Technologies,离子枪1420型,20kV离子枪,可调节斑点尺寸≥为5微米，空间定义的溅射或植入
离子枪1420型
20kV离子枪
连续可变束流能量 5kV 至 20kV
双重八极光束扫描和散光校正
预物镜扫描以减少斑点大小
为了避免样品污染，没有直接的灯丝连接到样品视线
客户可更换的灯丝和光束修剪孔径
双丝在耗材寿命终止时提供运行备份
所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料
差动泵送以减少主腔室气体负荷
工作范围涵盖惰性气体和氮气
Thoria 涂覆了用于氧气作的铱丝
可变光圈，可以将点位大小缩小到1微米
用于快速脉冲束的消隐板
碱金属源可用于与C、Li、Na、K等作
源炉用于生产可蒸发材料的离子
带整数维也纳滤波器的源
模式 | 斑点尺寸（μM FWHM） | 束流电流（μA） | 电流密度（A/cm²） |
|---|---|---|---|
小点 | 8 | 0.5 | 1 |
中点 | 15 | 5 | 2.8 |
大点 | 40 | 20 | 1.5 |
特征 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230V 交流 50/60Hz 自动选择 |
束流能量 | 0 – 20000V，1mA |
聚焦，电容 | 0 – 20000V，1mA |
丝材功率 | 发射调节，5V，最大5A电流 |
电离 | 电子加速电压和发射软件可选择 |
离子提取 | 0-2500V软件可选 |
挠度 | +X、-Y、+Y和-Y的±400V电压供电。其余八极元件由电阻分压器网络供电。可选8通道偏转电源，具散光校正和次级电子成像功能 |
联 锁 | 系统与辅助联锁 |
用户界面 | 基于USB的图形用户界面 |
底盘尺寸 | 483（宽） x 267（高） x 435（深） 毫米。机架安装机箱 6U |
