低能离子枪，集成维也纳滤波器

• 聚焦柱优化为低能量通量

• 高亮度电子冲击源，以最大限度地去除散装材料

• 发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板动态范围可调300倍

• 连续可变束流能量最高可达5keV

• 可更换光束修剪孔径，典型寿命为>500小时

• 双线丝提供运行备份，典型的线材寿命>500小时

• 所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料

• 可在多种惰性气体种类上运行，氧气，并可选配Thoria丝

• 柱体3度弯曲以实现中性抑制

• 适用于极低腔室压力作的两段差动泵送