美国Nonsequitur Technologies,离子枪1401型,通用溅射深度剖面,用于表面化学实验,如样品制备和深度剖面,使用螺旋孔和ESCA,它可以与惰性气体一起使用
离子枪1401型
通用溅射，深度剖面
1401型号非常适合用于表面化学实验，如样品制备和深度剖面，使用螺旋孔和ESCA。它可以与惰性气体一起使用。
高电流密度，根据选定的点大小，介于15至50 mA/cm²之间。
独特的离子源设计，实现稳定发射。
双钨丝，典型线材寿命>500小时。铱涂层可选。可更换的光束修剪孔径，典型寿命>500小时。
所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料。
差动泵送以减少主腔室气体负荷。
枪械易于拆卸以便维护。
电气连接和气体入口都设在一个法兰上，便于安装。
预设的提取和聚光镜参数（三个点尺寸设置），以实现重复作。积分束流测量。
直接测量离子源压力。
系统和电缆互锁防止在真空不良或电缆移除时高电压通电。
电源和光栅发生器装在单个51/4高的19英寸机架式机箱中。
数字生成的光栅选项，实现均匀的蚀刻轮廓。电脑控制选项。可选离子源压力调节
工作距离 | 25毫米 |
束流能量 | ≤5KeV连续变频 |
栅格尺寸 | 4 x 4 毫米（最低要求） |
安装法兰 | 70毫米（2.75英寸）平置式 |
差动泵送 | 70毫米（2.75英寸）平板 |
供气入口 | 34毫米（1.33英寸）平头 |
源气体 | He，Ne，Ar，Kr，Xe |
烘烤温度 | 最高气温150°C |
输入功率 | 115/220伏交流自动选择作。熔断电压为3.3安培 |
束流能量 | 0 – 5000伏开关模式，供电连续可变。O/P电流：最大1 mA。O/P电容：0.0047微F。 |
冷凝器 | 0 – 5000伏开关电源为连续可变。O/P电压随能量增长。O/P电流：最大1毫安。O/P电容：0.0047微法 |
目标焦点 | 0 – 5000伏开关电源为连续可变。O/P电压随能量增长。O/P电流：最大1毫安。O/P电容：0.0047微法 |
丝材功率 | 采用发射调节电源，前面板可选灯丝，最大电压为5伏@5安培。 |
电子冲击 | 内部可调的加速电压和发射电流前面板计量。 |
离子提取 | 内部可调至1500伏。 |
法拉第收藏家 | 前面板瞬时开关允许通过面板显示进行束流监测。 |
挠度 | 可变双极350V直流电源，用于+X、-X、+Y和-Y偏转。其余八极元件由电阻分压器网络供电。 |
联 锁 | 高压电缆断开会关闭高压电源。可调节的高压互锁装置在系统过压时关闭高压电源。系统和辅助互锁在系统或辅助设备故障时实现完全停机。 |
前面板监控 | 数字面板仪能精确监测所有关键参数，包括：透镜电压（4.5位）、离子源压力和束流（3.5位）、灯丝电流和电压（3.5位）、发射电流（3.5位）。 |
底盘尺寸 | 483（宽） x 132.5（高） x 435.4（宽）毫米。19英寸机架式桌面机箱，3U高 |
