美国Nonsequitur Technologies,离子枪,能量<10kV,1402型,具有极低能量下的高光束电流,也可以在高能量（最高可达5keV）下运行，以提供额外的深度剖面和样品清洁能力
离子枪1402型
Nonsequitur Technologies 1402型离子枪具有极低能量下的高光束电流。它也可以在高能量（最高可达5keV）下运行，以提供额外的深度剖面和样品清洁能力。可能的应用包括电荷补偿、离子散射以及离子/固体相互作用的研究。
离子产生通过双丝电子撞击电离实现，实现长源寿命且无需打破系统真空。灯丝偏离轴线，以防止丝材在样品上以视线沉积。
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板动态范围可调300倍
连续可变束流能量最高可达5keV
可更换光束修剪孔径，典型寿命为>500小时
双线丝提供运行备份，典型的线材寿命>500小时
所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料
差动泵送以减少主腔室气体负荷
可在多种惰性气体种类上运行，氧气，并可选配Thoria丝
工作距离 | 20毫米 |
束流能量 | 10eV至5keV连续变速 |
栅格尺寸 | 7 x 7 毫米（最小尺寸） |
安装法兰 | 70毫米（2.75英寸）外定速CF |
差动泵送 | 70毫米（2.75英寸）外径CF |
供气入口 | 34毫米（1.33英寸）外径CF |
源气体 | He，Ne，Ar，Kr，Xe |
烘烤温度 | 最高气温100°C |
能源 | 点状尺寸（μm FWHM） | 束流电流（μA） | 电流密度（mA/cm²） |
|---|---|---|---|
100电子伏特 | 1000 | 2 | 0.25 |
500电子伏特 | 1000 | 4 | 0.5 |
1kV | 750 | 5 | 1.1 |
3kV | 400 | 8 | 4 |
元件 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自动选择作。熔点为3.3/1.8A。 |
束流能量 | 0 – 5000V，1mA开关模式连续供电。输出电容：0.0047μF |
聚光器聚焦 | 0 – 1500V，1mA开关模式通过前面板独立且连续可调供电，配备三档旋转开关和调平电位器。输出电压会随能量增长。输出电容：0.0047μF。 |
目标焦点 | 0 – 5000V，1mA开关模式连续供电。输出电压会随能量增长。输出电容：0.0047μF。 |
丝材功率 | 采用可调节的发射供电，前面板可选灯丝，最大可达5安培5V@。 |
电子轰击 | 电子加速电压内部可调至150V。前面板旋转开关可选择七种电子发射电流设置。 |
离子提取 | 内部可调至1500伏。 |
挠度 | 可变双极性350伏直流电源，用于+X、-X、+Y和-Y偏转。剩余的八极元件由电阻分压器网络供给。 |
联 锁 | 断开高压电缆会导致关闭高压电源。可调节的高压联锁装置在系统过压时关闭高压电源。系统和辅助联锁在系统或辅助设备故障时实现完全停机。 |
前面板监控 | 数字面板仪表能精确监测所有关键参数，包括：镜头电压（4.5位）、离子源压力和光束电流（3.5位）、灯丝电流和电压（3.5位）、发射电流（3.5位）。 |
底盘尺寸 | 483（宽）×132.5（高）x435.4（深）毫米。19英寸机架式桌面机箱，3U高。 |
