美国Nonsequitur Technologies,散装刻蚀离子源,离子枪1403型TOF-SIMS型,高亮度电子冲击源,以最大限度地去除散装材料
散装刻蚀离子源
高亮度电子冲击源，以最大限度地去除散装材料
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板动态范围可调300倍
点尺寸可调节，从20毫米到>1毫米，用于空间定义的溅射
连续可变束流能量最高可达5keV
利用束束弯曲光学进行中性物种抑制
TOF SIMS的束束消隐能力
集成束流监测能力
可更换光束修剪孔径，典型寿命为>500小时
双线丝提供运行备份，典型的线材寿命>500小时
内部源压力传感器可监测离子源压力
所有用于制造的UHV兼容且抗蚀蚀材料
预物镜偏转以减少黑斑大小
差动泵送以减少主腔室气体负荷
运行范围涵盖各种惰性气体物种
元件 | 描述 |
|---|---|
工作距离 | 35毫米 |
中性物种抑制 | 3°静电弯曲光学 |
束流能量 | ≤ 5keV 连续变频 |
栅格尺寸 | 4 x 4 毫米（最低要求） |
安装法兰 | 70毫米（2.75英寸）外定速CF |
差动泵送 | 70毫米（2.75英寸）外径CF |
供气入口 | 34毫米（1.33英寸）外径CF |
源气体 | He，Ne，Ar，Kr，Xe |
烘烤温度 | 最高气温150°C |
模式 | 点状大小（微米） | 束流 | 电流密度（mA/cm²） |
|---|---|---|---|
大点 | 250 | 15μA | 30 |
小点 | 20 | 300nA | 95 |
元件 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自动选择作。熔点为3.3/1.8A。 |
束流能量 | 0 – 5000V，1mA开关模式连续供电。输出电容：0.0047μF。 |
双聚光器聚焦 | 150 – 5000V，1mA开关模式通过前面板独立且连续可调供电，配备三档旋转开关和调平电位器。输出电压会随能量增长。输出电容：0.0047μF |
目标焦点 | 0 – 5000V，1mA开关模式连续供电。输出电压会随能量增长。输出电容：0.0047μF |
丝材功率 | 采用可调节的发射供电，前面板可选灯丝，最大可达5安培5V@。 |
电子轰击 | 电子加速电压内部可调至150V。前面板旋转开关可选择七种电子发射电流设置。 |
离子提取 | 内部可调至1500伏。 |
弯曲挠度 | 可调输出通过前面板瞬时开关设定为180V，处于正常状态。开关会瞬间激活，用于使用法拉第集电器测量束流。 |
挠度 | 可变双极性350伏直流电源，用于+X、-X、+Y和-Y偏转。剩余的八极元件由电阻分压器网络供给。 |
联 锁 | 断开高压电缆会导致关闭高压电源。可调节的高压联锁装置在系统过压时关闭高压电源。系统和辅助联锁在系统或辅助设备故障时实现完全停机。 |
前面板监控 | 数字面板仪表能够精确监测所有关键参数，包括：镜头电压（4.5位数）、离子源压力和束流（3.5位数）、灯丝电流和电压（31/2位数）、发射电流（31/2位数）。 |
底盘尺寸 | 483（宽）x132.5（高）x435.4（深）毫米。19英寸机架式桌面机箱，3U高。 |
