美国Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS离子枪
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS离子枪特点：
高亮度电子碰撞源，可最大程度地去除散装材料
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板可调节动态范围 x300
光斑尺寸从 20 mm 到 > 1 mm 不等，用于空间定义的溅射
连续可变光束能量高达 5keV
使用光束弯曲光学器件抑制中性物质
TOF SIMS 的光束消隐功能
集成光束电流监控功能
可更换光束调整孔径，典型使用寿命为 > 500 小时
双线材提供运行备份，典型的线材使用寿命> 500 小时
内部离子源压力传感器允许监测离子源压力
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料
预物镜偏转以减少光斑尺寸
差压泵送，以最大限度地减少主室气体负荷
可在惰性气体种类范围内运行
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS离子枪规格：
工作距离 | 35 毫米 |
中性物质抑制 | 3° 静电弯曲光学元件 |
光束能量 | ≤ 5keV 无级可调 |
栅格大小 | 4 x 4 毫米（最小） |
安装法兰 | 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF |
供气入口 | 34 毫米（1.33 英寸）外径 CF |
源气 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤温度 | 最高 150 °C |
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS离子枪控制器规格：
元件 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自动选择操作。熔断电流为 3.3/1.8A。 |
光束能量 | 0 – 5000V，1mA 开关模式电源连续可变。输出电容：0.0047μF。 |
双聚光镜对焦 | 150 – 5000V、1mA 开关模式通过前面板三个位置旋转开关和微调电位器独立和连续可变。输出电压随能量而变化。输出电容：0.0047μF |
目标聚焦 | 0 – 5000V，1mA 开关模式电源连续可变。输出电压随能量而变化。输出电容：0.0047μF |
灯丝功率 | 带前面板可选灯丝的辐射调节电源，最大可提供 5A 5V@电流。 |
电子轰炸 | 电子加速电压内部可调至 150V。电子发射电流的七种设置可从前面板旋转开关中选择。 |
离子萃取 | 内部可调至 1500V。 |
弯曲偏转 | 可调输出标称设置为 180V，通过前面板瞬时开关设置为正常状态。开关暂时激活，以便使用法拉第集电极进行光束电流测量。 |
挠度 | 可变双极 350VDC 电源，用于 +X、-X、+Y 和 -Y 偏转。其余的八极子元件由电阻分压器网络供电。 |
联 锁 | HV 电缆断开会关闭 HV 电源。可调节的高压联锁装置可在系统超压时关闭高压电源。系统和辅助联锁装置可在系统或辅助设备发生故障时完全关闭。 |
前面板监控 | 数字面板仪表可对所有关键参数进行精确监控，包括;镜头电压（41/2 位）、离子源压力和束流（31/2 位）、灯丝电流和电压（31/2 位）、发射电流（31/2 位）。 |
机箱尺寸 | 483（W）x132.5（H）x435.4（D） mm. 19 英寸机架式桌面机箱 3U 高。 |
