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Newmark RMS-5系列旋转工作台
RMS-5 Submersible Rotary Stage
RMS-5旋转工作台 完全密封，能够防止外部环境的影响，非常适合半导体晶圆切割等应用。
RMS-5采用IP68结构设计，适用于水下旋转应用，也适合需要防尘防潮保护的户外应用。该设计利用了一个预加载的交叉滚子轴承来实现工作台的运动。这种设计方法省去了双轴承配置，从而改善了轴向跳动和摆动。
该水下旋转工作台采用蜗轮驱动，提供72:1和36:1两种齿轮比可供选择。蜗轮经过预加载处理，以减少齿轮传动中的背隙。
RMS-5标配集成光学原点开关、尺寸23步进电机和10英尺长的电机及信号电缆。步进电机可选配旋转编码器。对于高速应用，RMS-5水下旋转工作台也提供配备尺寸23无刷伺服电机的选项。
Newmark RMS-5系列旋转工作台规格表
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 分辨率 | 最高可达 0.36 角秒（取决于齿轮比和电机类型） |
| 精度 | 70 角秒 |
| 最大速度 | 步进电机：25°/秒（72:1 齿轮比），50°/秒（36:1 齿轮比） |
| 伺服电机：125°/秒（72:1 齿轮比），250°/秒（36:1 齿轮比） | |
| 单向重复定位精度 | 5 角秒 |
| 双向重复定位精度 | 45 角秒 |
| 最大输出扭矩 | 10.2 Nm（90 盎司-英寸） |
| 最大负载容量 | 50 kg（110 lbs） |
| 行程范围 | 360° 连续旋转 |
| 编码器 | 光学旋转编码器安装在电机后部，4000 CPR带索引（可选） |
| 限位开关 | 无 |
| 原点 | 光学原点开关 |
| 编码器上的光学索引标记（配备编码器时） | |
| 齿轮比 | 72:1 或 36:1 |
| 工作台重量 | 5 kg（11 lbs） |
| 材料 | 铝合金结构 |
| 表面处理 | 黑色阳极氧化处理 |
电机选项
尺寸23步进电机
- NEMA 23 高扭矩步进电机
- 2.8 安培/相
- 1.8 度/步
- 兼容以下运动控制器：
NSC-A1系列 | NSC-G系列
尺寸23无刷直流伺服电机
- NEMA 23 无刷直流伺服电机
- 4000脉冲/转光学旋转编码器，带索引标记
- 连续堵转扭矩：0.51 Nm（73 盎司-英寸）
- 峰值扭矩：1.34 Nm（190 盎司-英寸）
- 兼容以下运动控制器：NSC-G系列
