NLS4系列线性滑轨提供XY和XYZ配置。NLS4线性平台的真空兼容版本在尺寸上与标准NLS4相同。NLS4真空定位平台的每个部分都经过修改，以最小化虚拟泄漏和气体释放。所有铝部件均经过透明铱处理，轴承使用Braycote 601EF润滑脂润滑，所有电线均采用特氟龙绝缘。步进电机和限位开关专为真空应用设计。紧固件采用不锈钢制成，并在盲孔中通风，以消除虚拟泄漏。驱动系统采用不锈钢ACME丝杠和乙缩醛塑料驱动螺母。驱动螺母提供零间隙操作，能够自动调整磨损，以确保在整个平台使用寿命内保持零间隙。使用线性导轨轴承可提供平稳的运动、高负载能力和刚性。由于滑块在整个行程中得到支撑，因此可以实现良好的悬臂负载能力。电机和信号线长0.6米（24英寸），并配有DB-9连接器。请注意，DB-9连接器不兼容真空环境。
NLS4真空定位平台技术参数：
| Travel | 50mm (2″), 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 250mm (10″), 300mm (12″), 350mm (14″), 400mm (16″), 500mm (20″), 600mm (24″) | |
| Resolution | 1.5875 mm/rev lead | 0.03 µm @ 50,000 steps/rev motor resolution |
| 6.35 mm/rev lead | 0.13 µm @ 50,000 steps/rev motor resolution | |
| Maximum Speed | 1.5875 mm/rev lead | 10 mm/second |
| 6.35 mm/rev lead | 50 mm/second | |
| Maximum Load | 22.6 kg (50 lb) | |
| Repeatability Bidirectional | 10 µm | |
| Accuracy | 0.0006 mm/mm | |
| Stage Weight | NLS4-2 = 1.3 kg (3 lb) | NLS4-4 = 2.1 kg (4.7 lb) | NLS4-6 = 2.4 kg (5.3 lb) | |
| NLS4-8 = 2.5 kg (5.7 lb) | NLS4-10 = 2.8 kg (6.3 lb) | NLS4-12 = 3.1 kg (6.9 lb) | ||
| Material | Aluminum | |
| Finish | Clear Irridite | |
| Operating Temperature | 0°C to 50°C (motor case should not exceed 80°C) | |
