NLS4系列线性滑块可提供XY和XYZ配置。NLS4线性台真空兼容版本与标准NLS4在尺寸上相同。台架的每个部分都经过修改，以最大程度地减少虚拟泄漏和气体放出。
所有铝件均经过清洁处理，轴承使用Braycote 601EF润滑脂润滑，所有电线使用聚四氟乙烯绝缘。步进电机和限位开关专为真空应用而设计。紧固件采用不锈钢制造，如果用于盲孔，则进行通气处理以消除虚拟泄漏。
驱动系统采用不锈钢ACME导程螺杆和乙酸树脂驱动螺母。驱动螺母提供零回程间隙操作，可自动调整磨损，确保台架寿命内零回程间隙。
线性导向轴承提供平稳运动、高负载能力和刚度。由于台架在整个行程上受到支撑，因此可以实现良好的悬臂载荷能力。
电机和信号线长0.6米（24英寸），并带有DB-9连接器。请注意，DB-9连接器不适用于真空环境。
Newmark真空位移平台技术规格：
– 行程：50mm（2英寸）、100mm（4英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、250mm（10英寸）、300mm（12英寸）、350mm（14英寸）、400mm（16英寸）、500mm（20英寸）、600mm（24英寸）
– 分辨率：
– 1.5875毫米/转导程：50,000步/转电机分辨率下的0.03微米
– 6.35毫米/转导程：50,000步/转电机分辨率下的0.13微米
– 最大速度：
– 1.5875毫米/转导程：10毫米/秒
– 6.35毫米/转导程：50毫米/秒
– 最大负载：22.6千克（50磅）
– 双向重复精度：10微米
– 精度：0.0006毫米/毫米
– 台架重量：
– NLS4-2 = 1.3千克（3磅）
– NLS4-4 = 2.1千克（4.7磅）
– NLS4-6 = 2.4千克（5.3磅）
– NLS4-8 = 2.5千克（5.7磅）
– NLS4-10 = 2.8千克（6.3磅）
– NLS4-12 = 3.1千克（6.9磅）
– 材质：铝
– 表面处理：清洁处理
– 工作温度：0°C至50°C（电机外壳不应超过80°C）
NEMA 17真空兼容步进电机
– 所有油漆和油脂都已从电机中清除。接下来，采用高温绕组以及聚四氟乙烯引线。
– NEMA 17高扭矩步进电机
– 0.95安培/相
– 5.0欧姆/相
– 3.1毫亨/相
– 每步1.8度
– 与以下运动控制器兼容：
– NSC-A1系列
– NSC-G系列
