RMS-5 防水型旋转平台
RMS-5 采用全密封设计,与外部环境完全隔离,是半导体晶圆切割等应用的理想选择。
该平台具备 IP68 防护等级,适用于水下旋转作业,也可用于需要防尘防潮的户外环境。其结构采用单一预紧交叉滚子轴承驱动工作台,避免了双轴承配置,从而显著减少了轴向跳动和摆动。该防水旋转平台使用蜗轮蜗杆驱动,提供 72:1 和 36:1 两种齿轮比可选,蜗杆经预紧处理以最大限度降低传动链背隙。
RMS-5 标配集成光学原点开关、23 型步进电机以及 10 英尺长的电机与信号电缆。步进电机可选用旋转编码器。对于高速应用场景,RMS-5 水下旋转台也可配备 23 型无刷伺服电机。
技术规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 分辨率 | 最高 0.36 角秒(取决于齿轮比和电机类型) |
| 精度 | 70 角秒 |
| 最大转速 | 步进电机:25°/秒(72:1 齿轮比),50°/秒(36:1 齿轮比) 伺服电机:125°/秒(72:1 齿轮比),250°/秒(36:1 齿轮比) |
| 单向重复定位精度 | 5 角秒 |
| 双向重复定位精度 | 45 角秒 |
| 最大输出扭矩 | 10.2 牛米(90 磅·英寸) |
| 最大负载能力 | 50 公斤(110 磅) |
| 行程范围 | 360° 连续旋转 |
| 编码器 | 光学旋转编码器(安装于电机后部),4000 CPR,带索引信号(可选) |
| 限位开关 | 无 |
| 原点设置 | 光学原点开关 编码器光学索引标记(选配编码器时可用) |
| 齿轮比 | 72:1 或 36:1 |
| 平台重量 | 5 公斤(11 磅) |
| 材质 | 铝合金结构 |
| 表面处理 | 黑色阳极氧化 |
