BM-10台式隔振平台
新型BM-10台式平台证明卓越性能亦可凝聚于精巧设计之中。这是迄今为止在如此紧凑的尺寸中(4.6英寸×12英寸×12英寸)所提供的最高性能隔振器。
BM-10台式隔振平台
BM-10台式隔振平台仅以4.6英寸高、12英寸宽、12英寸深的紧凑结构,即可实现比全尺寸气浮隔振台优越10至100倍的性能,且无需任何气源或电力!
该隔振平台操作极其简便,性能卓越。其水平固有频率为1.5 Hz,垂直固有频率为标志性的0.5 Hz,仅需两次调节即可完成设置。BM-10完美适配新一代小型扫描探针显微镜(SPM),可在极紧凑的系统中提供顶尖隔振性能。
该平台还可根据需求改造为洁净室兼容或真空兼容版本。
