MILARA,H4,晶圆处理机器人,双臂晶圆机械手,晶圆搬运机械臂

MILARA,H4,晶圆处理机器人,双臂晶圆机械手,晶圆搬运机械臂,Diamond H4系列大气机器人在晶圆处理设备的设计和可靠性方面取得了显著的工程进步。

H4晶圆处理机器人
类别: 机器人 > Diamond系列

Diamond H4系列大气机器人代表了晶圆处理设备设计和可靠性方面的重大工程进步。
特点:
▶ 模块化和高度可定制的设计
▶ 臂长从10.50英寸到20英寸
▶ 与预对准器、线性轨道和其他外围组件无缝集成
▶ 完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源

描述:
Diamond H4系列大气机器人在晶圆处理设备的设计和可靠性方面取得了显著的工程进步。

两个独立的手臂（R1和R2）连接到一个共同的旋转轴（T），允许快速交换或同时传输两个晶圆。得益于技术优越的组件，机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，并结合零背隙的Harmonic Drive®齿轮，实现了更高的灵活性和精度。

创新的全集成设计将运动控制器、伺服放大器和电源集成在机器人的行业标准尺寸内。高强度的结构件支持顶部、底部或侧面安装配置，而不会影响系统刚性。

32位实时内核提供沿平滑连续轨迹的精确运动控制，而分布式控制架构允许与线性轨道、预对准器和其他子组件无缝集成。可联网的RS-485和以太网接口补充了标准的RS-232和示教器连接。强大的原生晶圆处理脚本语言有助于快速软件开发，以便将机器人嵌入OEM应用环境中。

对传统机器人“宏”命令的全面仿真提供了与多种现有半导体工具的即插即用兼容性。

规格:
特点:

• 卓越的结构刚性
• 模块化和高度可定制的设计
• 臂长从10.50英寸到20英寸
• 垂直行程从13英寸到22英寸
• 完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
• 高响应的无刷电机和精确的零背隙Harmonic Drive®齿轮
• 绝对编码器，无需初始归位程序
• 支持径向和直线设备布局
• 与预对准器、线性轨道和其他外围组件无缝集成
• 标准RS-232接口和以太网（Telnet）接口连接到主机
• 先进的32位实时运动控制内核，强大的晶圆处理固件
• 全面的软件工具和实用程序
• 传统机器人宏命令的软件仿真，可选示教器终端
• 通用数字输入和输出，用于自定义用途
• 可靠性——MTBF > 60,000小时（MCBF > 10,000,000次循环）

技术参数:

• 负载能力：高达7.94磅（3.6公斤）
• 编码器：绝对编码器，10,000脉冲/转
• 电机类型：无刷、低惯性、高响应
• 重量：从77.16磅（35公斤）到97磅（44公斤）
• 洁净度：符合ISO 3（ISO 14644）/ Class 1（FED STD 209E）洁净室标准
• 工作温度：50°F-104°F（10°C至40°C）
• 设施要求：电压范围100-120VAC，200-240VAC；真空供应11.8英寸汞柱（-5.8psi）/ 0.1CFM气流

合规性:

• 符合CE和UKCA标准
• 认证：TUV（IEC/UL 61010-1）、KCs（KOSHA）
• 符合SEMI S2、S8、S22标准