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EQUIPE双臂晶圆处理机器人
特点:
▶ 专为快速晶圆交换优化
▶ 标准集成马蹄形末端执行器
▶ 全360°旋转，消除死区
规格:
通用规格:
- 负载能力（每臂）: 1磅（0.45公斤）
- 晶圆尺寸: 200毫米-300毫米（标准）
- 重量: 90磅（41公斤）
所需设施:
- 真空: 18-24英寸汞柱
- 输入电压: 100/120/220/240 VAC，50/60 Hz
- 吞吐量: ≤ 3秒/每次晶圆交换
安装规格:
- 安装孔: 4 x 0.375英寸通孔
- 安装孔间距: 11.75英寸
- 末端执行器安装: 4 x 6-32，1.00英寸间距
- 死区: 无
轴运动参数:
| 轴 | 重复精度 | 速度 | 运动范围（2406型号） | 运动范围（2407型号） |
|---|---|---|---|---|
| T | ±0.01° | 360°/秒 | 360° | 360° |
| R | < ±0.002英寸 | 24英寸/秒 | 11.68英寸 | 14.50英寸 |
| Z | ±0.001英寸 | 12英寸/秒 | 12.96英寸 | 12.96英寸 |
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