Milara,智能预对准器,MPA,用于3寸到12寸晶圆

MILARA SMART PREALIGNER 3″ – 12″

Milara智能预对准器采用高分辨率编码器，提供行业领先的对准精度。

特点:
▶ 行业领先的对准精度
▶ 自校准和自诊断功能
▶ RGB和红外光源，实现更快的边缘检测
▶ 可移动的灯塔

描述:
Milara智能预对准器采用高分辨率编码器，提供行业领先的对准精度。该对准单元配备RGB和红外光源，可更轻松、更快速地检测半透明和玻璃载体的边缘。可移动的灯塔允许对准非标准尺寸的方形和圆形基板。Milara智能预对准器具备自校准和自诊断功能，并提供支持M2M通信的Web界面，适用于智能制造和自动化。提供多种吸盘和针材料选择——Peek、Tekapeek ELS nano、Semitron ESD420、Viton、Kalrez、陶瓷等。

规格:

• 晶圆直径: 3英寸至12英寸
• 非标准尺寸晶圆（如108mm、208mm等）: 支持
• 方形基板: 支持
• 平面和缺口兼容性: 支持
• 晶圆透明度: 透明、半透明、不透明
• 角度精度: 0.015°
• 中心对准精度: 20微米 / 0.0007英寸
• 初始偏移限制: 10毫米 / 0.39英寸
• 吸盘和针材料: Peek、Tekapeek ELS nano、Semitron ESD420、Viton、Kalrez、陶瓷等
• 对准时间: <4秒
• 机身尺寸:
  • 宽度: 173毫米 / 6.811英寸
  • 长度: 317毫米 / 12.480英寸
  • 高度: 188.50毫米 / 7.421英寸
• 重量: 5.00公斤
• 伺服轴: 四轴
• 处理方式: 真空
• 所需设施: 100-240 VAC, 50-60 Hz 或 24 VDC/3A
  • 最小真空度: 70 kPa
  • 最小气流: 100 cc/秒（70 kPa时）
• 主机通信: RS232或以太网
• 光源: 自适应
• 洁净度: 符合ISO 3（ISO 14644）/ Class 1（FED STD 209E）洁净室标准
• 氮气吹扫: 可选
• 平均无故障时间（MTBF）: >60,000小时 / >10,000,000次循环
• 认证: TUV（IEC/UL61010-1）
• 合规性: 符合SEMI S2、S8和CE / UKCA标准