Milara,智能预对准器,高对准精度预对准器,MPA

Milara智能预对准器
全系列产品

特征:
→ 采用高分辨率编码器，提供行业领先的对准精度
→ 具备自校准和自诊断功能
→ RGB + 红外光源——可更轻松、更快速地检测半透明和玻璃载体的边缘
→ 可移动的灯塔，支持对准非标准尺寸的方形和圆形基板
→ 可选氮气吹扫功能，确保最高洁净度
→ 可直接替换行业常见品牌设备
→ 支持工业4.0——具备M2M通信功能的Web界面，适用于智能制造

规格:
→ 支持非标准尺寸晶圆（如108毫米、208毫米等）
→ 支持方形基板
→ 兼容平面和缺口
→ 支持的晶圆透明度：透明、半透明、不透明
→ 角度精度：0.015°
→ 中心对准精度：20微米 / 0.0007英寸
→ 初始偏移限制：10毫米 / 0.39英寸
→ 对准时间：<4秒
→ 处理方式：真空或重力
→ 伺服轴：四轴

→ 吸盘和针材料：Peek、Tekapeek ELS nano、Semitron ESD420、Viton、Kalrez、陶瓷等
→ 所需设施：100-240 VAC, 50-60Hz 或 24 VDC/3A
→ 最小真空度：70 kPa
→ 最小气流：100 cc/秒（70 kPa时）
→ 主机通信：RS232或以太网
→ 光源：自适应
→ 洁净度：符合Class 1标准
→ 平均无故障时间（MTBF）：>60,000小时 / >10,000,000次循环
→ 认证：TUV-SUD、SEMI S2和CE