Diamond H5系列真空机器人代表了晶圆搬运设备在设计和可靠性方面的一项重大工程进步。
特点：
▶ 模块化且高度可定制的设计
▶ 臂长范围从16英寸到20英寸
▶ 可选配示教器终端
▶ 强大的晶圆搬运固件
Diamond H5系列真空机器人在晶圆搬运设备的设计和可靠性方面实现了显著的工程进步。
得益于技术领先的组件，该机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，并结合零背隙的 Harmonic Drive® 谐波减速齿轮，从而实现了更高的灵活性和精度。
其创新的一体化设计将运动控制器、伺服放大器和电源集成在机器人的行业标准尺寸内，节省了空间。
高强度结构件支持在法兰的顶部或底部安装，同时不会影响系统的刚性。
可联网的 RS-485 和以太网接口与标准的 RS-232 和示教器连接相辅相成。
强大的原生晶圆搬运和脚本语言功能，便于快速开发软件，将机器人嵌入 OEM 应用环境中。
对传统机器人“宏”命令的全面模拟，提供了与多种现有半导体设备的即插即用兼容性。
特点
- 模块化且高度可定制的设计
- 臂长范围从 16 英寸到 20 英寸
- 垂直行程可达 1.377 英寸
- 完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
- 高响应无刷电机和精确零背隙的 Harmonic Drive® 谐波减速齿轮
- 标准 RS-232 接口和以太网（Telnet）接口，支持与主机连接
- 先进的 32 位实时运动控制内核
- 强大的晶圆搬运固件
- 全面的软件工具和实用程序
- 支持传统机器人宏命令的软件模拟
- 可选配示教器终端
- 通用数字输入和输出，支持自定义使用
- 高可靠性 – 平均无故障时间 (MTBF) > 60,000 小时，平均无故障循环次数 (MCBF) > 10,000,000 次
规格
- 负载能力 – 最大 2.65 磅（1.2 千克）
- 编码器 – 绝对值编码器，32,768 计数/转
- 电机类型 – 无刷、低惯性、高响应
- 重量 – 从 65 磅（29.5 千克）起
- 洁净度 – 符合 ISO 3（ISO 14644）/ Class 1（FED STD 209E）洁净室标准
- 工作温度 – 真空中最高 50ºC（122ºF）
- 工作温度 – 大气环境中 10ºC ‐ 40ºC（50ºF ‐ 104ºF）
- 设施要求 – 电压范围 100-120VAC，200-240VAC
- 基础真空度 – 最高 1×10⁻⁹ Torr
- 真空供应 – < 1×10⁻⁹ std.cc/sec He
- 暴露于真空的材料 – 铝、不锈钢、波纹管（AM-350 SST 退火）、铁磁密封液、Viton