H4 Plus晶圆搬运机器人
类别：机器人 > Diamond 系列
Diamond H4 Plus系列双臂大气环境机器人在晶圆搬运设备的设计和可靠性方面实现了显著的工程进步。两个独立的手臂（R1 和 R2）连接到一个共同的旋转轴（T），支持快速交换或同时传输两片晶圆。
特点
- 卓越的结构刚性
- 模块化且高度可定制的设计
- 多种末端执行器选项
Diamond H4 Plus系列双臂大气环境机器人在晶圆搬运设备的设计和可靠性方面实现了显著的工程进步。两个独立的手臂（R1 和 R2）连接到一个共同的旋转轴（T），支持快速交换或同时传输两片晶圆。得益于技术领先的组件，该机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，并结合零背隙的 Harmonic Drive® 谐波减速齿轮，从而实现了更高的灵活性和精度。
其创新的 Class 1 洁净室兼容一体化设计将运动控制器、伺服放大器和电源集成在机器人的行业标准尺寸内，节省了空间。高强度结构件支持顶部、底部或侧面安装配置，同时不会影响系统的刚性。
32 位实时内核可沿平滑连续轨迹提供精确的运动控制，而分布式控制架构则支持与线性轨道、预对准器及其他子组件的无缝集成。可联网的 RS-485 和以太网接口与标准的 RS-232 和示教器连接相辅相成。强大的原生晶圆搬运和脚本语言功能，便于快速开发软件，将机器人嵌入 OEM 应用环境中。
对传统机器人“宏”命令的全面模拟，提供了与多种现有半导体设备的即插即用兼容性。
规格
- 晶圆尺寸：2 英寸（50 毫米）至 12 英寸（300 毫米）
- 负载能力：每臂 2.2 磅（1.0 千克）
- 编码器：增量式，131,072 脉冲/转
- 电机类型：无刷、低惯性、高响应
- 重量：120 磅（55 千克）
- 工作温度：50°F-104°F（10°C 至 40°C）
- 设施要求：电压范围 100-120VAC，200-240VAC；真空供应 11.8”Hg（-5.8psi）/ 0.1CFM 气流
