EQUIPE GEN2单臂晶圆搬运机器人
类别：机器人 > Equipe 系列
Equipe 是晶圆搬运大气环境机器人领域的全球标准。Milara 的第二代（Gen2）Equipe 大气环境机器人系列（AXM 100、ABM 400 和 ATM 400）功能强大、重复性高且可靠，旨在为现有 Equipe 客户带来行业巨头的全新升级。
特点
- 专为处理最大 300 毫米的晶圆和光罩设计
- 快速运动且无灵敏度损失
- 无背隙，提供高度可重复的定位
AXM 100系列通用规格
- 型号：ATM 100
- 负载能力：0.45 千克 [1 磅]
- 基板传感器：真空传感器，可选激光晶圆盒映射
- 重量：12.7 千克 [28 磅]
- 所需设施：真空 18-24 英寸汞柱
- 电源要求：100 – 240 VAC，50/60 Hz
- 吞吐量：< 4 秒/晶圆（取放操作）
AXM 100系列轴规格
- 运动范围
- 径向轴：2 x (133.35 毫米 [5.25”] 或 182.88 毫米 [7.20”])
- Theta 轴：335°
- Z 轴：177.8 毫米 [7”]
- 重复精度（典型值）
- 径向轴：± 0.0508 毫米 [0.002″] @3 σ
- Theta 轴：± 0.02° @3 σ
- Z 轴：± 0.0508 毫米 [0.002″] @3 σ
- 速度（典型值）
- 径向轴：60.96 厘米/秒 [24 英寸/秒]
- Theta 轴：360°/秒
- Z 轴：25.4 厘米/秒 [10 英寸/秒]
AXM 100系列安装规格
- 机器人安装孔直径：215.9 毫米 [8.500″]
- 机器人螺栓分布：3 x 1/4-20 通孔，直径 228.6 毫米 [12.350″]
- 末端执行器：4 x 4-40 螺纹孔，直径 35.306 毫米 [1.390″]
- 死区：25°
AXM 400系列通用规格
- 型号：
- ATM 405/407 -> 负载能力：0.45 千克 [1 磅]
- ATM 407B -> 负载能力：0.68 千克 [1.5 磅]
- ATM 407C -> 负载能力：1.81 千克 [4 磅]
- 基板传感器：真空传感器
- 重量：27.21 千克 [60 磅]
- 所需设施：真空 18-24 英寸汞柱
- 电源要求：100 – 240 VAC，50/60 Hz
- 吞吐量：< 4 秒/晶圆（取放操作）
AXM 400系列轴规格
- 运动范围
- 径向轴：2 x (133.35 毫米 [5.25”] 或 182.88 毫米 [7.20”])
- Theta 轴：335°
- Z 轴：330.2 毫米 [13”]
- 重复精度（典型值）
- 径向轴：± 0.0508 毫米 [0.002″] @3 σ
- Theta 轴：± 0.02° @3 σ
- Z 轴：± 0.0508 毫米 [0.002″] @3 σ
- 速度（典型值）
- 径向轴：60.96 厘米/秒 [24 英寸/秒]
- Theta 轴：360°/秒
- Z 轴：25.4 厘米/秒 [10 英寸/秒]
AXM 400系列安装规格
- 机器人安装孔直径：292.1 毫米 [11.500”]
- 机器人螺栓分布：3 x 6.35 毫米 [0.25”] 通孔，直径 313.69 毫米 [12.350″]
- 末端执行器：
- 4 x 4-40 螺纹孔，直径 35.306 毫米 [1.390″]（405, 407）
- 4 x 6-32 螺纹孔，直径 50.8 毫米 [2.000”]（407B, 407C）
- 死区：25°
总结
- AXM 100系列适用于轻负载、紧凑型应用，具有高精度和快速响应的特点。
- AXM 400系列提供多种型号，支持更高的负载能力，适用于更广泛的应用场景。
- 两个系列均采用高精度运动控制和无背隙设计，确保晶圆搬运的高效性和可靠性。