Milara E5真空升降机、Diamond E5系列真空晶圆搬运
类别：机器人 > Diamond 系列
Diamond E5系列真空升降机在晶圆搬运设备的设计和可靠性方面实现了显著的工程进步。
特点
- 卓越的结构刚性
- 模块化且高度可定制的设计
- 垂直行程可达14.48英寸
- 完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
- 标准 RS-232 接口和以太网（Telnet）接口，支持与主机连接
- 与H5真空机器人无缝集成
- 全面的软件工具和实用程序
- 强大的晶圆搬运固件
- 支持传统机器人宏命令的软件模拟
- 可选配示教器终端
- 通用数字输入和输出，支持自定义使用
- 高可靠性 – 平均无故障时间 (MTBF) > 60,000 小时，平均无故障循环次数 (MCBF) > 10,000,000 次
