1-1/2 英寸口径角阀
MDC 的 1-1/2 英寸（38.1 mm）真空角阀是精密设计的组件，用于高真空（HV）和超高真空（UHV）系统中控制气体、液体或工艺介质的流动。这些阀门采用执行器驱动的阀芯机构，通过真空密封的熔接 304 不锈钢阀体实现可靠的流量控制。内部配备 AM-350 不锈钢嵌套波纹管，确保低逸气和长期可靠性能。
为提高真空效率，这些阀门消除了内部盲腔，并使用小截面弹性体密封件。
阀口连接选项
Conflat® 2-3/4 英寸（69.85 mm）金属密封法兰
ISO NW40 Kwik-Flange™ KF（40 mm）
1-1/2 英寸管焊接（38.1 mm）
行业应用
MDC 的 1-1/2 英寸（38.1 mm）真空角阀非常适用于半导体加工、真空镀膜、空间模拟、薄膜沉积以及分析仪器等关键应用。其紧凑的设计、高导通性以及超洁净的内部表面，可在各种真空环境中实现精密流量控制和无污染操作。
型号与规格示例
| PART | VACUUM SERIES | VALVE SIZE | ACTUATOR | PORT FLANGE | PORT CONNECTION | BONNET SEAL |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312029 | UHV | 1-1/2 | MANUAL | CONFLAT | 2-3/4″ | METAL |
| 312032 | UHV | 1-1/2 | MANUAL | TUBE WELD | 1-1/2″ | METAL |
| 313029 | UHV | 1-1/2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 2-3/4″ | METAL |
| 313032 | UHV | 1-1/2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 1-1/2″ | METAL |
| 310029 | HV | 1-1/2 | MANUAL | CONFLAT | 2-3/4″ | FKM |
| 310074 | HV | 1-1/2 | MANUAL | ISO | NW40 | FKM |
| 310032 | HV | 1-1/2 | MANUAL | TUBE WELD | 1-1/2″ | FKM |
| 311029 | HV | 1-1/2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 2-3/4″ | FKM |
| 311074 | HV | 1-1/2 | PNEUMATIC | ISO | NW40 | FKM |
| 311032 | HV | 1-1/2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 1-1/2″ | FKM |
主要特性
适用于 HV 和 UHV 环境
阀口配置：
Conflat® 2-3/4 英寸（69.85 mm）金属密封法兰
ISO NW40 Kwik-Flange™ KF（40 mm）
1-1/2 英寸管焊接（38.1 mm）
手动和电动气动执行器
集成 120VAC 气控电磁阀
阀盖密封：OFE 铜金属和 FKM 弹性体
焊接波纹管执行器密封
TIG 焊接内部阀体接头
内外表面电解抛光，耐腐蚀且光滑
可选特性
电机械位置指示器
磁簧开关位置指示器
气控电磁阀兼容 240VAC 和 24VDC
高温 Kalrez® 弹性体阀芯密封，耐温 250°C（482°F）
