熔融石英视窗
MDC 熔融石英视窗专为高真空和超高真空(UHV)应用设计,要求具有优异的光学透明度、紫外透过率和热稳定性。视窗采用合成熔融石英、304 不锈钢及真空兼容钎料合金制造,非常适合需要最小荧光、低析气及稳定光学性能的系统。
熔融石英是一种多晶、各向同性材料,确保物理、热学、电学及光学性能在所有方向上均一致。MDC 提供三种材料等级:
Base UV(基础 UV,≥80%/cm @185nm)
DUV-200(相当于 Suprasil-1®)
EUV-185(准分子 UV,≥85%/cm @185nm)
根据需求,还可提供红外型号,透过长度可达 141.7 英寸(3600 mm),OH 含量 <1 ppm。MDC 标准光学表面处理为 40-20 划痕-凹点等级,深紫外应用可选 20-10 表面等级。
行业应用
熔融石英视窗广泛应用于半导体加工、UV 激光光学、表面科学、质谱分析及薄膜沉积系统。其优异的 UV 透过率、耐热冲击性能及在真空环境中的耐用性,使其成为高精度光学和分析仪器的关键组件。特殊材料等级支持准分子激光、深紫外光谱学及红外诊断应用。
零件列表(示例)
| 零件号 | 安装类型 | 镜片等级 | 镜片尺寸 | 法兰尺寸 | A | B | C | D | E | F | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 9722013 | CONFLAT | UV | 3/4 | 1.33 | 0.63 | 0.100 | – | 1.33 | 0.17 | 0.29 | – | – |
| 9722005 | CONFLAT | UV | 1-1/2 | 2.73 | 1.40 | 0.130 | – | 2.73 | 0.35 | 0.50 | – | – |
| 9722207 | CONFLAT | DUV-200 | 2-1/2 | 4.47 | 2.69 | 0.25 | – | 4.47 | 0.41 | 0.68 | – | – |
| 9722301 | CONFLAT | EUV-185 | 1-1/2 | 2.73 | 1.40 | 0.130 | – | 2.73 | 0.35 | 0.50 | – | – |
| 9723005 | KWIK-FLANGE | UV | 3/4 | K100 | – | – | – | – | – | – | – | – |
| 9721005 | WELD-ABLE | UV | 1-1/2 | 1-1/2 | 1.40 | 1.30 | 1.78 | 1.495 | 0.68 | 0.81 | 0.25 | 1.44 |
| … | … | … | … | … | … | … | … | … | … | … | … | … |
注:表中 A-H 为零件相关尺寸参数,可根据具体零件号参考对应规格。
关键特性
合成熔融石英,具有优异的紫外透过性能
提供标准及零长度视窗几何结构
标配 40-20 划痕-凹点光学表面,可满足大多数应用
可选 20-10 划痕-凹点表面,用于波长 <0.25 µm 的深紫外应用
兼容 UHV 系统及烘烤环境
可根据需求提供定制穿透配置(Feedthrough)
高耐磨性及低热膨胀系数,降低热冲击风险
材料选项包括 DUV-200、EUV-185 及低 OH 含量红外熔融石英

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