MDC旋转运动穿透器专为在高真空(HV)和超高真空(UHV)环境中实现精确、连续旋转而设计。这些真空兼容的高精度仪器非常适合要求苛刻的真空内样品操作和定位应用。
标准旋转型号配备360°激光蚀刻刻度,刻度间隔为5°,可实现精确定位。采用偏轴摆动设计的焊接不锈钢波纹管以及旋转轴承支撑,确保长期性能和耐用性。高温型号完全由304不锈钢制成,可耐受高达100°C(212°F)的烘烤温度。
MDC还提供:
气动驱动旋转单元:可调范围30°至90°,非常适合真空内快门和两位置驱动。
微型旋转穿透器:紧凑设计,适用于空间受限环境,可承受最大扭矩20 oz-in(0.14 N·m)。
精密旋转仪器:高精度运动,分辨率可达0.1°,回差最小。
磁耦合旋转单元:无波纹管UHV旋转,支持轻载应用,最大扭矩20 oz-in(0.14 N·m)。
直接驱动旋转穿透器:手动或电动操作,速度可达300 rpm,采用预紧Viton®弹性体密封。
差压泵直驱型:可在500 rpm下提供最大100 lb-in(11.3 N·m)扭矩,通过1/8″(3.18 mm)管螺纹泵口实现10⁻⁹ Torr UHV兼容。
所有型号均可选用Conflat® CF和Kwik-Flange™ ISO KF法兰接口。
行业应用
MDC旋转运动穿透器支持广泛的高精度真空应用,涵盖半导体加工、薄膜沉积、分析仪器、材料科学及表面物理等领域。其精确的旋转定位和真空兼容性,使其在真空腔内的样品操作、晶圆搬运、快门控制及其他运动关键操作中不可或缺。
标准旋转运动
高温标准旋转运动
气动旋转运动
微型旋转运动
精密旋转运动
磁驱动旋转运动
直接驱动旋转运动
差压泵直驱旋转运动

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