MDC 2 英寸口径角阀,MDC真空角阀312033/312036/313033/313036/310033/310075/310036/311033/311075/311036

2 英寸口径角阀

MDC 的 2 英寸真空角阀是精密设计的组件,用于高真空(HV)和超高真空(UHV)环境中控制气体和液体流动。这些阀门采用坚固的执行器-阀芯机构,封装在真空密封的 304 不锈钢阀体中,优化了低逸气和高耐久性性能。AM-350 不锈钢波纹管和 TIG 焊接接头确保长期真空完整性,电解抛光表面可减少颗粒滞留。

阀口提供多种配置选择:Conflat® 3-3/8 英寸(85.7 mm)金属密封法兰、ISO NW50(50.8 mm)Kwik-Flange™ KF,以及 2 英寸(50.8 mm)管焊接,支持多种系统集成方式。可选择手动或电动气动执行器,控制电磁阀可提供 120VAC、240VAC 或 24VDC,以满足灵活操作需求。

行业应用

MDC 的 2 英寸角阀非常适用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器以及真空炉系统。其紧凑的占地面积、坚固的密封选项以及 UHV 兼容性,使其适合洁净室环境、研究实验室以及需要精确流量控制和最小污染的真空加工腔体。

型号与规格示例

PARTVACUUM SERIESVALVE SIZEACTUATORPORT FLANGEPORT CONNECTIONBONNET SEAL
312033UHV2MANUALCONFLAT3-3/8″METAL
312036UHV2MANUALTUBE WELD2″METAL
313033UHV2PNEUMATICCONFLAT3-3/8″METAL
313036UHV2PNEUMATICTUBE WELD2″METAL
310033HV2MANUALCONFLAT3-3/8″FKM
310075HV2MANUALISONW50FKM
310036HV2MANUALTUBE WELD2″FKM
311033HV2PNEUMATICCONFLAT3-3/8″FKM
311075HV2PNEUMATICISONW50FKM
311036HV2PNEUMATICTUBE WELD2″FKM

主要特性

  • 适用于 UHV 和 HV 环境

  • 阀口配置:

    • Conflat® 3-3/8 英寸(85.7 mm)金属密封法兰

    • ISO NW50(50.8 mm)Kwik-Flange™ KF

    • 2 英寸(50.8 mm)管焊接

  • 手动和电动气动执行器选项

  • 标配 120VAC 气控电磁阀

  • 阀盖密封可选 OFE 铜金属和 FKM 弹性体

  • 焊接波纹管执行器密封,确保真空完整性

  • TIG 焊接内部接头,降低污染风险

  • 内外表面电解抛光,保证清洁操作

可选特性

  • 电机械位置指示器

  • 磁簧开关位置指示器

  • 适用于 240VAC 或 24VDC 的气控电磁阀

  • 高温 Kalrez® 弹性体阀芯密封,耐温 250°C(482°F)

 

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