2 英寸口径角阀
MDC 的 2 英寸真空角阀是精密设计的组件,用于高真空(HV)和超高真空(UHV)环境中控制气体和液体流动。这些阀门采用坚固的执行器-阀芯机构,封装在真空密封的 304 不锈钢阀体中,优化了低逸气和高耐久性性能。AM-350 不锈钢波纹管和 TIG 焊接接头确保长期真空完整性,电解抛光表面可减少颗粒滞留。
阀口提供多种配置选择:Conflat® 3-3/8 英寸(85.7 mm)金属密封法兰、ISO NW50(50.8 mm)Kwik-Flange™ KF,以及 2 英寸(50.8 mm)管焊接,支持多种系统集成方式。可选择手动或电动气动执行器,控制电磁阀可提供 120VAC、240VAC 或 24VDC,以满足灵活操作需求。
行业应用
MDC 的 2 英寸角阀非常适用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器以及真空炉系统。其紧凑的占地面积、坚固的密封选项以及 UHV 兼容性,使其适合洁净室环境、研究实验室以及需要精确流量控制和最小污染的真空加工腔体。
型号与规格示例
| PART | VACUUM SERIES | VALVE SIZE | ACTUATOR | PORT FLANGE | PORT CONNECTION | BONNET SEAL |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312033 | UHV | 2 | MANUAL | CONFLAT | 3-3/8″ | METAL |
| 312036 | UHV | 2 | MANUAL | TUBE WELD | 2″ | METAL |
| 313033 | UHV | 2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 3-3/8″ | METAL |
| 313036 | UHV | 2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 2″ | METAL |
| 310033 | HV | 2 | MANUAL | CONFLAT | 3-3/8″ | FKM |
| 310075 | HV | 2 | MANUAL | ISO | NW50 | FKM |
| 310036 | HV | 2 | MANUAL | TUBE WELD | 2″ | FKM |
| 311033 | HV | 2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 3-3/8″ | FKM |
| 311075 | HV | 2 | PNEUMATIC | ISO | NW50 | FKM |
| 311036 | HV | 2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 2″ | FKM |
主要特性
适用于 UHV 和 HV 环境
阀口配置:
Conflat® 3-3/8 英寸(85.7 mm)金属密封法兰
ISO NW50(50.8 mm)Kwik-Flange™ KF
2 英寸(50.8 mm)管焊接
手动和电动气动执行器选项
标配 120VAC 气控电磁阀
阀盖密封可选 OFE 铜金属和 FKM 弹性体
焊接波纹管执行器密封,确保真空完整性
TIG 焊接内部接头,降低污染风险
内外表面电解抛光,保证清洁操作
可选特性
电机械位置指示器
磁簧开关位置指示器
适用于 240VAC 或 24VDC 的气控电磁阀
高温 Kalrez® 弹性体阀芯密封,耐温 250°C(482°F)
