高温紧凑型直线运动穿透器
MDC 高温紧凑型直线运动穿透器专为大气侧空间受限的环境设计。采用最小化外形设计,这些装置在高温真空条件下仍能提供平稳、精确的直线位移,同时保持优异性能。
激光蚀刻不锈钢刻度筒用于跟踪运动,共分 20 等分刻度。每转一圈产生 1.25 mm(0.049″) 的线性位移。机构采用 1.25 mm(0.049″)螺距丝杠 配合径向轴承,确保长期精度。
所有驱动组件均位于成型不锈钢波纹管的大气侧,非常适合空间紧凑的应用。穿透器提供行业标准 Conflat® CF 金属密封法兰,尺寸为 1-1/3″ 和 2-3/4″(33.8 mm 和 69.8 mm)。
行业应用
这些紧凑型穿透器非常适合 空间受限的 UHV 环境,包括半导体制造、表面科学实验室、光学仪器和材料沉积系统。凭借高耐用性和热性能,它们可支持洁净室真空系统、等离子体腔以及原位材料分析装置中的精密运动任务。
产品型号
| 部件号 | 描述 |
|---|---|
| 665514 | 1-1/3 UHV |
| 665515 | 2-3/4 UHV |
主要特性
直线行程:2 英寸(50.8 mm)
手动执行机构,实现直接运动控制
UHV 兼容材料,保证真空完整性
成型波纹管密封,紧凑且气密
可耐高温烘烤至 230°C(446°F)
标准 Conflat® CF 法兰安装:1-1/3″ 或 2-3/4″(33.8 mm 或 69.8 mm)
