零型 7056 玻璃视窗
MDC Precision 的零型 7056 玻璃视窗专为高真空和超高真空(UHV)系统中的紧凑光学通道设计。其低高度设计非常适合空间受限的真空腔体或需要平齐安装观察窗口的系统。
视窗采用 康宁 7056 玻璃 制作,该材料与 Kovar 金属具有热膨胀匹配特性,可在热循环和烘烤过程中提供出色的结构稳定性。Kovar 套筒通过先进的钎焊工艺实现坚固、真空密封的连接,确保在苛刻应用中的可靠性能。
提供 ConFlat(CF)型 或 Kwik-Flange™ ISO KF 安装样式,视窗可轻松集成到各种真空系统中,同时保持低析气率和高真空兼容性。
行业应用
零型 7056 玻璃视窗非常适合半导体加工、表面科学、光束线系统、等离子腔体及薄膜沉积工具等空间受限且需要光学观察的应用。紧凑的设计允许平齐安装,减少设备干扰,同时提供高透过率的真空过程可视性。
零件列表(示例)
| 零件号 | 安装类型 | 标称法兰 | 法兰外径 | 螺栓圆直径 | 视窗直径 | 玻璃厚度 | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 450000 | CONFLAT | 1-1/3 | 1.33 | 1.062 | 0.62 | 0.070 | 0.285 |
| 450041 | CONFLAT | 2-1/8 | 2.12 | 1.625 | 0.90 | 0.070 | 0.470 |
| 450002 | CONFLAT | 2-3/4 | 2.73 | 2.312 | 1.50 | 0.105 | 0.500 |
| 450003 | CONFLAT | 3-3/8 | 3.37 | 2.850 | 2.00 | 0.170 | 0.625 |
| 450030 | KWIK-FLANGE | NW16 | 1.18 | – | 0.62 | 0.070 | 0.363 |
| 450033 | KWIK-FLANGE | NW50 | 2.95 | – | 1.50 | 0.105 | 0.625 |
| … | … | … | … | … | … | … | … |
注:表中 H 为视窗总高度,其他尺寸参数可根据具体零件号参考对应规格。
关键特性
采用 7056 玻璃,具有优异的热学和光学性能
零型设计最小化系统占用空间
兼容 Conflat CF 法兰,适用于 UHV 系统
亦可提供 Kwik-Flange™ ISO KF 法兰
Kovar 套筒结构,实现高完整性玻璃-金属密封
适用于高真空及超高真空环境
紧凑几何设计,支持腔体表面平齐安装
耐热冲击,适合烘烤条件

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