MDC 气动旋转运动传送装置,MDC UHV/HV旋转运动真空馈通670050/670051/670052/670053

气动旋转运动

MDC 气动旋转运动传送装置专为高真空（HV）和超高真空（UHV）系统中实现精确的两位置旋转运动而设计。这些传送装置非常适用于真空腔内快门以及其他需要快速且可控运动的轻负载自动化任务。

旋转角度可调范围为 0° 至 90°，并配有两个停止位置控制：起始角可设置在 0° 至 30°，结束角可设置在 60° 至 90°。装置附带一个电磁阀（120VAC，50/60Hz）用于控制气动执行器。

该装置采用 UHV 兼容材料和焊接不锈钢波纹管制造，可耐受最高 100°C（212°F）烘烤，并能承受最大空气压力 100 PSIG（6.9 bar）。安装选项包括 Conflat® CF 金属密封法兰和 ISO KF Kwik-Flange™ 弹性密封端口。

行业应用

这些气动旋转传送装置广泛应用于半导体加工、真空沉积、光学以及光束线仪器，尤其适用于需要远程两位置控制的场合。非常适合真空腔内快门控制、阀门机构和旋转样品架，既可提供可靠的自动化操作，又可保持真空完整性。紧凑且可调的设计可增强系统灵活性，并在关键真空环境中提升性能。

英制 / 公制对照表

主要特征

• 可调旋转行程 0° 至 90°，实现两位置控制

• 由附带的 120VAC 电磁阀驱动的气动执行器

• 兼容 UHV 与 HV 系统

• 焊接波纹管密封，确保真空完整性

• 可烘烤至 100°C（212°F）

• 可通过 Conflat® CF 或 Kwik-Flange™ ISO KF 法兰安装

• 最大操作空气压力 100 PSIG（6.9 bar）