MDC 标准旋转运动传送装置,MDC UHV/HV旋转运动馈通件670000/670002/670020/670022

标准旋转运动

MDC 标准旋转运动传送装置是一种经济可靠的真空腔体样品或设备旋转解决方案。该装置采用高等级真空兼容材料制造,配备 360° 激光蚀刻黑色阳极氧化滚筒,并以 5° 为刻度分度,实现清晰、精确的位置调节。

每个装置都包含焊接不锈钢波纹管,具有独特的偏心摆动设计和旋转轴轴承支撑,在真空应用中提供出色的稳定性和性能。该产品可提供超高真空(UHV)和高真空(HV)两种配置,并可选 Conflat® CF 金属密封法兰或 Kwik-Flange™ ISO KF 弹性密封法兰,便于集成安装。

标准为手动操作,同时可提供四种驱动选项的电机化版本(控制器单独销售),实现自动化真空腔内旋转。

行业应用

MDC 标准旋转运动传送装置广泛应用于半导体加工、表面分析、材料科学、真空仪器以及样品操作系统。其坚固的结构和精密旋转控制使其非常适合手动或自动旋转定位,例如在晶圆处理、快门驱动以及高真空或超高真空腔体中的探针对准等场景。

英制 / 公制对照表

零件号真空等级法兰尺寸法兰外径ABMN
670000UHV1-1/31.331.574.305.634.64
670002UHV2-3/42.731.574.305.634.64
670020HVNW161.181.454.425.754.86
670022HVNW402.161.624.255.584.69

主要特征

  • 可连续旋转,实现样品/设备全范围旋转

  • 支持手动或电机驱动操作(电机单独销售)

  • 旋转位置锁定,确保稳固、可重复定位

  • 采用 UHV 或 HV 兼容材料制造

  • 焊接不锈钢波纹管,保证真空密封完整性

  • 可烘烤至 100°C(212°F),适用于高温应用

  • 激光蚀刻 360° 刻度,分度为 5°(±0.1°)

  • 法兰兼容性: