直驱差动泵送旋转运动
MDC 差动泵送直驱旋转运动传送装置专为超高真空（UHV）环境下的高扭矩、高速旋转而精密设计。该装置可承受最高 100 lb-in（11.3 N·m）的旋转扭矩，旋转速度可达 500 rpm，采用差动泵送的双 FKM 弹性体轴密封配置。
两个内置径向轴承支撑旋转轴，密封之间设有 1/8″（3.18 mm）内螺纹接口，用于差动泵送，实现真空完整性可达 10⁻⁹ Torr。装置可提供 MDC Conflat® CF 金属密封或 ISO KF Kwik-Flange™ 弹性密封配置，可耐受最高 100°C（212°F）烘烤，并通过 1″（25.4 mm）螺栓孔安装。
行业应用
适用于需要高扭矩旋转运动的超高真空系统，MDC 差动泵送传送装置支持样品操作、晶圆旋转、等离子体或离子源驱动以及 10⁻⁹ Torr 条件下的材料研究。其坚固设计确保在半导体制造、涂层系统及要求在极端真空条件下实现精密运动的科学仪器中长期稳定运行。
英制 / 公制对照表
| 真空系列 | 描述 | 零件号 |
|---|---|---|
| UHV | 2-3/4 UHV | 652100 |
| HV | NW40 HV | 652101 |
主要特征
连续旋转，速度可达 500 rpm
支持最高 100 lb-in（11.3 N·m）扭矩
手动执行器，操作可靠
双 FKM 弹性体轴密封，带差动泵送接口
可烘烤至 100°C（212°F），便于真空准备
兼容 Conflat CF 与 Kwik-Flange™ ISO KF 法兰
1″（25.4 mm）螺栓孔安装，适合紧凑布局
