磁力驱动旋转运动
MDC 磁力耦合旋转运动传送装置为需要在超高真空(UHV)条件下进行基础旋转的应用提供了坚固且密封良好的解决方案。该装置采用磁力耦合替代传统波纹管,优化用于轻负载手动操作,最大扭矩可达 20 oz-in(0.14 N·m)。标准安装配备 Conflat® CF 法兰,直径 2.75″(69.85 mm),可轻松与大多数真空系统集成。该装置可耐受最高 212°F(100°C)烘烤,适用于多种高真空工艺。
行业应用
MDC 磁力旋转运动传送装置非常适用于科学研究、薄膜沉积、表面科学、半导体加工及基于真空的材料处理系统。该装置无需机械波纹管即可实现可靠的旋转控制,非常适合需要密封良好 UHV 性能和手动精密操作的环境。
英制 / 公制对照表
| 描述 | 零件号 |
|---|
| 手动操作 2-3/4 Conflat UHV | 671000 |
主要特征

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