8″ 端口 InvisiFlow 角阀
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缩略图 1
MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为大型真空镀膜系统设计，在这些系统中，堆积和污染可能会影响阀门性能。其集成加热系统（IHS）可对阀芯进行内部加热，从而最大限度减少颗粒生成并降低关键工艺中的污染。
可承受一百万次循环的焊接波纹管被布置在工艺流道之外，使阀门免受颗粒物和腐蚀性气体的影响，从而延长使用寿命。加大的 8″（203.2 mm）端口及优化的腔体过渡设计在不增加阀门尺寸的情况下，实现高导通流量，为超高真空（UHV）应用提供最大效率。
行业应用
8″（203.2 mm）InvisiFlow™ 角阀适用于需要大端口、高导通率 UHV 解决方案的行业。
应用包括：
半导体制造工具及先进沉积设备
光学与薄膜镀膜生产
配备大型 UHV 系统的高能物理实验室
纳米技术与表面科学实验
高级材料研究及航空航天真空工艺
其大端口流量能力、坚固结构和集成加热系统，使其在苛刻的高真空环境中不可或缺。
规格
| 零件号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 执行器 | 法兰类型 | 接口 | 阀盖密封 | A | B | C | ØD | E | ØF | ØG | H | ØI |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 311098 | HV | 8.00″ | 气动 | ISO | NW200 | FKM | 5.5 | 25 | 6.33 | 9.45 | 8.25 | 7.77 | – | – | – |
| 312098 | HV | 8.00″ | 气动 | CF | 10.00″ | FKM | 5.5 | 25 | 6.33 | 9.97 | 8.5 | 7.77 | 0.332 | 24 | 9.128 |
主要特性
集成加热系统（IHS）： 筒式加热器设计，可选配热电偶，实现精确温控。
高导通结构： 加大的 8″（203.2 mm）端口及优化腔体设计，实现卓越通量。
隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，减少污染和磨损。
卓越耐用性： 304 不锈钢结构（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环操作。
灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式接口。
压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。
温度等级：
阀体：400°F（200°C）
执行器：400°F（200°C）
电磁阀：125°F（50°C）
压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar）确保可靠操作。
快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。
密封选项： 标配 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。
标准与合规： 符合 ISO 3669，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。
安装方式： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔，兼容 Conflat® 刀口法兰。
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