MDC 670025/670028/670031/670034旋转-直线精密多功能传送装置,MDC真空馈通

旋转-直线，精密多功能型

旋转-直线精密多功能传送装置将高分辨率的旋转和直线运动结合在紧凑、超精密的 UHV 兼容执行器中。它提供连续 360° 的旋转运动，显示分辨率为 0.1°，直线位移可达 0.5 英寸（12.7 mm），分辨率为 0.001 英寸（0.0254 mm）。直线驱动旋钮转动一圈可实现 0.025 英寸（0.635 mm）的直线位移。该传送装置采用低反冲机构、焊接不锈钢波纹管以及独特的离轴摆动设计，确保运动平稳且使用寿命长。整个直线机构随旋转驱动旋转，这一点在系统设计中需予以考虑。两轴均可选择电动化驱动（电机控制器需另购），并可安装于 2-3/4 英寸（69.85 mm）Conflat® CF 法兰上。

行业应用

该精密旋转-直线传送装置非常适用于样品定位、光束线组件调节、原位操作以及真空系统自动化。广泛应用于同步辐射设施、半导体研究和先进材料测试中，可在超高真空（UHV）环境下提供稳定、可重复的运动控制，满足高精度与高耐用性的要求。

英制 / 公制对照表

主要特征

• 直线行程 0.5 英寸（12.7 mm），分辨率 0.001 英寸（0.0254 mm）

• 360° 连续旋转运动，旋转分辨率 0.1°

• 可配手动或电动执行器（电机控制器需另购）

• 旋转位置锁定，确保角度精确控制

• 采用 UHV 兼容材料制造

• 焊接不锈钢波纹管，保证密封性能

• 可烘烤至 230°C（446°F）

• 兼容 2-3/4 英寸（69.85 mm）Conflat® CF 法兰