MDC 670024/670027/670030/670033精密旋转运动传送装置,MDC真空馈通件

MDC 精密旋转运动传送装置专为超高真空（UHV）环境中要求高分辨率、低间隙旋转运动的应用而设计。这些装置提供 0.1° 的显示分辨率，实现精确且可重复的旋转。传送装置采用焊接不锈钢波纹管、独特的偏心摆动设计以及旋转轴轴承支撑，确保延长使用寿命并提供卓越的平滑运动性能。

装置采用 UHV 兼容材料制造，可耐受最高 230°C（446°F）烘烤，非常适用于高精度环境。支持通过 Del-Seal™ Conflat® CF 金属密封法兰进行安装，并提供可选电机驱动执行器以实现自动化集成。电机控制器需单独购买。

行业应用

MDC 精密旋转运动传送装置非常适用于半导体制造、表面科学、同步加速器光束线系统、X 射线光学及需要亚度旋转精度的分析仪器。其坚固、平滑且精确的运动性能使其成为精密样品对准、掩膜旋转及真空腔内光学器件控制的首选设备。

英制 / 公制对照表

主要特征

• 低间隙设计，适用于精密旋转应用

• 0.1° 旋转显示分辨率

• 提供手动或电机驱动执行器版本

• 旋转位置锁定，确保稳固调节

• 采用 UHV 兼容材料制造

• 焊接波纹管密封，保证真空完整性

• 可烘烤至 230°C（446°F），适用于高温环境

• 通过 Conflat® CF 金属密封法兰安装