6″ 端口 InvisiFlow 角阀
MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为大型真空镀膜应用设计，在这些应用中，污染和材料堆积可能会影响阀门性能。其集成加热系统（IHS）可对阀芯内部加热，从而最大限度减少颗粒生成并降低关键环境中的污染。
可承受一百万次循环的焊接波纹管被布置在工艺流道之外，使阀门敏感部件免受颗粒物和腐蚀性气体的影响，从而延长使用寿命并减少停机时间。加大的 6″（152.4 mm）端口及优化的腔体过渡设计在保持紧凑阀体尺寸的同时，实现高导通流量，确保超高真空（UHV）系统中的最大效率。
行业应用
6″（152.4 mm）InvisiFlow™ 角阀适用于需要大端口、高导通率真空控制及长期可靠性的行业。
应用包括：
半导体制造及大型沉积系统
薄膜镀膜及精密光学制造
表面科学与纳米技术研究
高能物理实验室需要的大型 UHV 组件
高要求真空环境下的先进材料研发，对正常运行时间和污染控制有严格要求
凭借坚固的设计、优异的污染控制性能和卓越的流量能力，它在高性能真空环境中不可或缺。
规格
| 零件号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 执行器 | 法兰类型 | 接口 | 阀盖密封 | A | B | C | ØD | E | ØF | ØG | H | ØI |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 311097 | HV | 6.00″ | 气动 | ISO | NW160 | FKM | 4.5 | 20 | 4.85 | 7.09 | 6.25 | 5.72 | – | – | – |
| 312097 | HV | 6.00″ | 气动 | CF | 8.00″ | FKM | 4.5 | 20 | 4.85 | 7.97 | 6.5 | 5.72 | 0.332 | 20 | 7.128 |
主要特性
集成加热系统（IHS）： 筒式加热器设计，可选配热电偶，实现精确温控。
高导通结构： 加大的 6″（152.4 mm）端口实现最大通量并降低流阻。
隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，提高可靠性并减少堆积。
卓越耐用性： 304 不锈钢结构（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环运行。
灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式接口设计。
压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。
温度等级：
阀体：400°F（200°C）
执行器：400°F（200°C）
电磁阀：125°F（50°C）
压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar）确保可靠操作。
快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。
密封选项： 标配 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。
标准与合规： 符合 ISO 3669，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。
安装方式： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔，兼容 Conflat® 刀口法兰。
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