MDC 4″ 端口 InvisiFlow 角阀,MDC HV真空角阀311096/312096,MDC真空阀代理

4″ 端口 InvisiFlow 角阀

MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为先进的真空镀膜系统设计，在这些系统中材料堆积可能会降低设备性能。其内置集成加热系统（IHS）可对阀芯进行内部加热，从而减少颗粒产生并降低污染风险。

可承受一百万次循环的焊接波纹管被布置在工艺流道之外，使阀门免受颗粒物和腐蚀性气体侵蚀，从而延长使用寿命。加大的 4″（101.6 mm）端口及优化的腔体过渡设计在不增加阀门尺寸的前提下，实现高导通流量，为超高真空（UHV）环境提供可靠性。

行业应用

4″（101.6 mm）InvisiFlow™ 角阀广泛应用于需要大端口流量、UHV 兼容性及污染控制的场合。

应用包括：

• 半导体制造设备与真空沉积系统

• 光学与电子薄膜镀膜系统

• 纳米技术与表面科学研究

• 高能物理及先进材料开发

• 需要长期可靠性和高性能的 UHV 实验室应用

其大端口设计、加热集成及强大的使用寿命，使其成为苛刻真空环境中的核心组件。

规格

主要特性

• 集成加热系统（IHS）： 筒式加热器，可选配热电偶，实现精确温控。

• 高导通结构： 加大的 4″（101.6 mm）端口降低流阻并提高通量。

• 隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，减少堆积和磨损。

• 卓越耐用性： 304 不锈钢结构（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环操作。

• 灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式接口。

• 压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。

• 温度等级：

  • 阀体：400°F（200°C）

  • 执行器：400°F（200°C）

  • 电磁阀：125°F（50°C）

• 压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar）确保可靠操作。

• 快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。

• 密封选项： 标配 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM，以满足苛刻环境需求。

• 标准与合规： 符合 ISO 3669 标准，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。

• 安装方式： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔，兼容 Conflat® 刀口法兰。