3 英寸口径角阀
MDC 的 3 英寸真空角阀经过精密设计,用于高真空(HV)和超高真空(UHV)系统中气体和液体的流量控制。通过手动或电动气动执行器,这些阀门控制阀芯机构,在真空密封的 304 不锈钢阀体内打开或关闭通道。AM-350 不锈钢焊接波纹管确保长期性能并最小化逸气,内部 TIG 焊接接头及紧凑设计提升导通率并简化系统集成。
可选连接方式包括:Conflat® 4-5/8 英寸(117.48 mm)金属密封法兰、ISO NW80 Kwik-Flange™ KF(3.15″ / 80 mm)、3 英寸(76.2 mm)管焊接连接。
这些阀门耐用、密封可靠且耐腐蚀,实现机械强度与清洁真空操作的最佳平衡。
行业应用
MDC 的 3 英寸真空角阀非常适用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、科研实验室及空间模拟腔体。在要求严格的真空环境中,它们可提供密封可靠、紧凑安装和精确控制。这些阀门在需要稳定性能和最小颗粒生成的场景中尤为重要。
型号与规格示例
| PART | VACUUM SERIES | VALVE SIZE | ACTUATOR | PORT FLANGE | PORT CONNECTION | BONNET SEAL |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312041 | UHV | 3 | MANUAL | CONFLAT | 4-5/8″ | METAL |
| 312044 | UHV | 3 | MANUAL | TUBE WELD | 3″ | METAL |
| 313041 | UHV | 3 | PNEUMATIC | CONFLAT | 4-5/8″ | METAL |
| 313044 | UHV | 3 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 3″ | METAL |
| 310041 | HV | 3 | MANUAL | CONFLAT | 4-5/8″ | FKM |
| 310077 | HV | 3 | MANUAL | ISO | NW80 | FKM |
| 310044 | HV | 3 | MANUAL | TUBE WELD | 3″ | FKM |
| 311041 | HV | 3 | PNEUMATIC | CONFLAT | 4-5/8″ | FKM |
| 311079 | HV | 3 | PNEUMATIC | ISO | NW80 | FKM |
| 311044 | HV | 3 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 3″ | FKM |
主要特性
UHV 与 HV 系列可选
阀口类型:Conflat® 4-5/8″(117.48 mm)、ISO NW80 KF(80 mm)、3″(76.2 mm)管焊接
手动与电动气动执行器,操作灵活
标配 120VAC 气控电磁阀
高性能阀盖密封:OFE 铜金属及 FKM 弹性体
焊接波纹管执行器密封,确保无泄漏
TIG 焊接内部接头,消除虚假泄漏
内外表面电解抛光,提高清洁度并减少逸气
可选升级
电机械位置指示器
磁簧开关位置反馈
适用于 240VAC 或 24VDC 的气控电磁阀
高温 Kalrez® 弹性体阀芯密封,耐温 250°C(482°F)

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