MDC 3″（76.2 mm）InvisiFlow™ 角阀,MDC HV系列真空角阀311095/312095

MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为先进的真空镀膜工艺设计，在这些工艺中，污染和材料堆积常常会降低系统性能。其集成加热系统（IHS）可对阀芯内部加热，从而减少颗粒生成并降低污染风险。

可承受一百万次循环的焊接波纹管被布置在工艺流道之外，有效防止颗粒物和腐蚀性气体侵蚀，延长阀门的使用寿命。加大的 3″（76.2 mm）端口配合优化的腔体过渡设计，在不增加阀体尺寸的前提下，实现高导通流量，从而最大化超高真空（UHV）环境中的运行效率。

行业应用

3″（76.2 mm）InvisiFlow™ 角阀非常适用于对高导通率、无颗粒真空控制和长寿命有严格要求的行业。

典型应用包括：

• 半导体制造与真空镀膜系统

• 薄膜与光学镀膜生产

• 需要超高真空环境的科研实验室

• 纳米技术与表面科学应用

• 高要求真空环境下的先进材料研发

凭借精密的工程设计、优异的污染控制性能以及强大的循环寿命，该阀门在对正常运行时间与性能要求极高的环境中不可或缺。

规格

主要特性

• 集成加热系统（IHS）： 筒式加热器设计，可选配热电偶以实现精准温度控制。

• 高导通结构： 加大的 3″（76.2 mm）端口实现更低流阻与最大通量。

• 隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，防止堆积并减少磨损。

• 卓越耐用性： 采用 304 不锈钢制造（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环运行。

• 灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式接口设计。

• 压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。

• 温度等级：

  • 阀体：400°F（200°C）

  • 执行器：400°F（200°C）

  • 电磁阀：125°F（50°C）

• 压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar）以确保可靠驱动。

• 快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。

• 密封选项： 标配 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM，以满足苛刻环境要求。

• 标准与合规： 符合 ISO 3669 标准，UHV 等级达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。

• 安装选项： 可旋转或固定式设计，带螺纹孔或通孔，兼容 Conflat® 刀口法兰。