MDC 2″ 端口 InvisiFlow 角阀,MDC HV真空角阀311093/312093,MDC真空阀进口代理

2″ 端口 InvisiFlow 角阀
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MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为先进的真空镀膜系统设计，这类系统中材料沉积往往会降低阀门效率。其集成加热系统（IHS）可对阀芯内部进行加热，从而减少颗粒生成和污染。

将可承受一百万次循环的焊接波纹管置于工艺流之外，使阀门避免受到腐蚀性气体和颗粒的侵蚀，从而延长使用寿命并减少停机时间。加大的 2″（50.8 mm）端口与优化的腔体设计在不增加阀门尺寸的情况下确保高导通流量，从而在超高真空（UHV）环境中实现最高效率。

行业应用

2″（50.8 mm）InvisiFlow™ 角阀适用于需要可靠、无颗粒真空控制的行业。

典型应用包括：

• 半导体制造与沉积系统

• 薄膜镀膜与光学制造

• 表面科学与纳米技术研究

• 先进材料工程

• 高真空与超高真空实验室工艺

凭借其坚固的结构、加热系统和高导通能力，该阀门在对正常运行时间、可靠性和污染控制要求极高的环境中具有不可替代的作用。

规格

主要特性

• 集成加热系统（IHS）： 筒式加热器设计，可选配热电偶以实现精确的温度控制。

• 高导通结构： 加大的 2″（50.8 mm）端口与优化的腔体设计可降低流动阻力。

• 隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，减少磨损和沉积物堆积。

• 卓越耐用性： 304 不锈钢结构（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环操作。

• 灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式连接方式。

• 压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。

• 温度等级：

  • 阀体：400°F（200°C）

  • 执行器：400°F（200°C）

  • 电磁阀：125°F（50°C）

• 压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar），确保可靠驱动。

• 快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。

• 密封选项： 标准 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。

• 标准与合规： 符合 ISO 3669 标准，UHV 等级达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。

• 法兰选项： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔设计，兼容 Conflat® 刀口法兰。