2-1/2″ 端口 InvisiFlow 角阀
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缩略图 1
MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为先进的真空镀膜应用而设计，这些应用中材料堆积常常会限制设备性能。其集成加热系统（IHS）可对阀芯内部加热，从而最大限度减少颗粒产生并降低污染。
将可承受一百万次循环的焊接波纹管置于工艺流道之外，使阀体免受颗粒物与腐蚀性气体的影响，延长使用寿命并减少停机时间。加大的 2-1/2″（63.5 mm）端口及优化的腔体过渡设计在不增加阀门尺寸的前提下实现高导通流量，从而确保超高真空（UHV）工艺中的高效运行。
行业应用
2-1/2″（63.5 mm）InvisiFlow™ 角阀适用于需要高导通率、无颗粒真空控制的行业。
主要应用包括：
半导体制造与沉积设备
光学与电子用薄膜镀膜系统
需要 UHV 兼容性的科研实验室
表面科学与纳米技术实验
高要求真空环境下的先进材料研发
凭借坚固的结构、集成加热系统及卓越的流量性能，该阀可提供长期的可靠性与高效性。
规格
| 零件号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 执行器 | 法兰类型 | 接口 | 阀盖密封 | A | B | C | ØD | E | ØF | ØG | H | ØI |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 311094 | HV | 2.50″ | 气动 | ISO | NW63 | FKM | 2.68 | 10.71 | 2.2 | 3.74 | 4.00 | 2.38 | – | – | – |
| 312094 | HV | 2.50″ | 气动 | CF | 4-1/2″ | FKM | 2.68 | 10.71 | 2.2 | 4.47 | 4.12 | 2.38 | 0.332 | 8 | 3.628 |
主要特性
集成加热系统（IHS）： 筒式加热器结构，可选配热电偶以实现精确温控。
高导通结构： 加大的 2-1/2″（63.5 mm）端口有效降低流动阻力。
隔离焊接波纹管： 位于工艺流之外，减少磨损与沉积物堆积。
卓越耐用性： 采用 304 不锈钢制造（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环操作。
灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式结构设计。
压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。
温度等级：
阀体：400°F（200°C）
执行器：400°F（200°C）
电磁阀：125°F（50°C）
空气要求： 驱动需 80–100 psi（5.5–7 bar）压缩空气。
快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。
密封选项： 标准 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。
标准与合规： 符合 ISO 3669 标准，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。
安装与兼容性： 可旋转或固定式结构，带螺纹孔或通孔设计，兼容 Conflat® 刀口法兰。
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