2-1/2 英寸口径角阀
MDC 的 2-1/2 英寸真空角阀专为超高真空(UHV)和高真空(HV)应用而设计,可在先进真空系统中提供可靠且精确的流量控制。这些阀门采用坚固的执行器-阀芯-阀体组件,在打开或阻断真空管路的同时,通过焊接波纹管和阀盖密封保持真空完整性。
阀门采用熔接焊接的 304 不锈钢制造,并配备 AM-350 不锈钢嵌套波纹管,确保低逸气、耐用性和清洁安装。内部 TIG 焊接接头及紧凑、无盲腔设计提高了清洁度和性能。
可选接口类型包括:Conflat® 4-1/2 英寸(114.3 mm)金属密封法兰、ISO NW63(63.5 mm)Kwik-Flange™ KF 以及 2-1/2 英寸(63.5 mm)管焊接,支持灵活的系统集成。控制方式包括手动和电动气动执行器,标配 120VAC 电磁阀,并可提供其他电压选项。
行业应用
MDC 的 2-1/2 英寸真空角阀非常适用于半导体制造、真空冶金、表面科学和工业研发。其坚固的 UHV 兼容性、清洁的内部表面和模块化执行器特性,使其成为高性能真空腔体、涂层系统及分析仪器的首选。
型号与规格示例
| PART | VACUUM SERIES | VALVE SIZE | ACTUATOR | PORT FLANGE | PORT CONNECTION | BONNET SEAL |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312037 | UHV | 2-1/2 | MANUAL | CONFLAT | 4-1/2″ | METAL |
| 312040 | UHV | 2-1/2 | MANUAL | TUBE WELD | 2-1/2″ | METAL |
| 313037 | UHV | 2-1/2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 4-1/2″ | METAL |
| 313040 | UHV | 2-1/2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 2-1/2″ | METAL |
| 310037 | HV | 2-1/2 | MANUAL | CONFLAT | 4-1/2″ | FKM |
| 310076 | HV | 2-1/2 | MANUAL | ISO | NW63 | FKM |
| 310040 | HV | 2-1/2 | MANUAL | TUBE WELD | 2-1/2″ | FKM |
| 311037 | HV | 2-1/2 | PNEUMATIC | CONFLAT | 4-1/2″ | FKM |
| 311078 | HV | 2-1/2 | PNEUMATIC | ISO | NW63 | FKM |
| 311040 | HV | 2-1/2 | PNEUMATIC | TUBE WELD | 2-1/2″ | FKM |
主要特性
HV 与 UHV 兼容
阀口类型:
Conflat® 4-1/2 英寸(114.3 mm)金属密封法兰
ISO NW63(63.5 mm)Kwik-Flange™ KF
2-1/2 英寸(63.5 mm)管焊接
手动或电动气动执行器选项
标配 120VAC 气控电磁阀
阀盖密封可选 OFE 铜金属或 FKM 弹性体
焊接波纹管执行器密封确保真空完整性
TIG 焊接内部接头减少逸气
内外表面电解抛光,保证操作清洁
可选特性
电机械位置指示器
磁簧开关位置反馈
适用于 240VAC 或 24VDC 的气控电磁阀
高温 Kalrez® 弹性体阀芯密封,耐温 250°C(482°F)

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