10″ 端口 InvisiFlow 角阀
MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为大型真空镀膜系统设计，这类系统对可靠性、效率和污染控制有极高要求。其集成加热系统（IHS）对阀芯进行内部加热，在关键工艺中显著减少颗粒生成和污染。
可承受一百万次循环的焊接波纹管被布置在工艺流道之外，使阀门免受颗粒物和腐蚀性气体的影响，从而延长使用寿命并减少停机时间。加大的 10″（254 mm）端口及优化的腔体过渡设计在不增加阀门尺寸的情况下，实现高导通流量，为超高真空（UHV）环境提供最大效率。
行业应用
10″（254 mm）InvisiFlow™ 角阀适用于需要大端口、高通量 UHV 解决方案且对污染控制有严格要求的行业。
应用包括：
半导体制造及晶圆沉积系统
大面积薄膜与光学镀膜
航空航天及卫星真空测试
高能物理及粒子加速器实验室
高级材料及纳米技术研究
其大端口导通能力、集成加热和延长循环寿命，使其在关键任务真空环境中不可或缺。
规格
| 零件号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 执行器 | 法兰类型 | 接口 | 阀盖密封 | A | B | C | ØD | E | ØF | ØG | H | ØI |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 311099 | HV | 10.0″ | 气动 | ISO | NW250 | FKM | 7.45 | 31.62 | 8.86 | 11.42 | 10.25 | 9.75 | – | – | – |
| 312099 | HV | 10.0″ | 气动 | CF | 13-1/4″ | FKM | 7.45 | 31.62 | 8.86 | 13.25 | 10.5 | 9.75 | 0.39 | 30 | 12.06 |
主要特性
集成加热系统（IHS）： 筒式加热器设计，可选配热电偶，实现精确温控。
高导通结构： 加大的 10″（254 mm）端口降低流阻、最大化通量。
隔离焊接波纹管： 位于工艺流道之外，减少污染和磨损。
卓越耐用性： 304 不锈钢制造（可选 316 不锈钢），支持一百万次循环操作。
灵活配置： 可选 ISO 法兰、CF 法兰或管式接口。
压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr，最高 14.7 psi（1 bar）。
温度等级：
阀体：400°F（200°C）
执行器：400°F（200°C）
电磁阀：125°F（50°C）
压缩空气要求： 80–100 psi（5.5–7 bar）确保可靠动作。
快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。
密封选项： 标配 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。
标准与合规： 符合 ISO 3669，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。
安装方式： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔，兼容 Conflat® 刀口法兰。
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