齿条与小齿轮直线运动穿透器
MDC 齿条与小齿轮直线运动穿透器结合了快速操作与精细控制,是用于真空环境中手动线性定位的多功能选择。与推拉式装置类似,但提供更精细的运动控制,这些装置通过 1-1/4 转执行器 可实现 1 英寸(25.4 mm) 的线性行程。
通常通过视窗观察运动,执行器的位置通过穿透器本体上的激光刻度标尺进行跟踪,刻度间距为 0.025″(0.635 mm)。黑色阳极氧化表面提高了刻度的对比度,可读性更高。执行器顶部设有手动 位置锁,操作过程中可确保位置固定。
采用 UHV 或 HV 兼容材料 制造,配备焊接不锈钢波纹管和线性轴承支撑,保证平稳可靠的运动。提供 Conflat® CF 法兰 或 ISO KF Kwik-Flange™ 弹性密封法兰 安装选项,适用于各种真空应用。
行业应用
MDC 齿条与小齿轮穿透器广泛应用于薄膜沉积、表面分析、材料传输系统及科研真空腔室中,需要快速手动线性调节的场合。适用于半导体设备、等离子反应器及光束线(beamline)装置,确保定位精确,结构坚固且洁净。
产品型号
| 部件号 | 真空系列 | 法兰尺寸 | 线性行程 | A-MIN | A-MAX | B-MIN | B-MAX |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 666000 | UHV | 1-1/3 | 2.00 | 3.55 | 5.55 | 6.5 | 8.5 |
| 666002 | UHV | 1-1/3 | 4.00 | 3.55 | 7.55 | 10.0 | 14.0 |
| 666004 | UHV | 1-1/3 | 6.00 | 3.55 | 9.55 | 13.0 | 19.0 |
| 666001 | UHV | 2-3/4 | 2.00 | 3.55 | 5.55 | 6.5 | 8.5 |
| 666003 | UHV | 2-3/4 | 4.00 | 3.55 | 7.55 | 10.0 | 14.0 |
| 666005 | UHV | 2-3/4 | 6.00 | 3.55 | 9.55 | 13.0 | 19.0 |
| 666006 | HV | NW16 | 2.00 | 3.43 | 5.43 | 6.62 | 8.62 |
| 666010 | HV | NW16 | 4.00 | 3.43 | 7.43 | 10.12 | 14.12 |
| 666014 | HV | NW16 | 6.00 | 3.43 | 9.43 | 13.12 | 19.12 |
| 666008 | HV | NW40 | 2.00 | 3.60 | 5.60 | 6.45 | 8.45 |
| 666012 | HV | NW40 | 4.00 | 3.60 | 7.60 | 9.95 | 13.95 |
| 666016 | HV | NW40 | 6.00 | 3.60 | 9.60 | 12.95 | 18.95 |
主要特性
线性行程范围:2″ 至 6″(50.8 至 152.4 mm)
手动齿条与小齿轮执行器,兼具精细与快速控制
激光刻度标尺,间距 0.025″(0.635 mm)
线性位置锁,确保操作稳定
UHV 和 HV 兼容材料,适合洁净真空环境
焊接波纹管密封,保证运动传递的气密性
可耐高温烘烤至 100°C(212°F)
安装端口选项:Conflat® CF 或 Kwik-Flange™ ISO KF

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