MDC 齿条与小齿轮直线运动穿透器,MDC UHV/HV 直线馈通666000/666006/666016

齿条与小齿轮直线运动穿透器

MDC 齿条与小齿轮直线运动穿透器结合了快速操作与精细控制,是用于真空环境中手动线性定位的多功能选择。与推拉式装置类似,但提供更精细的运动控制,这些装置通过 1-1/4 转执行器 可实现 1 英寸(25.4 mm) 的线性行程。

通常通过视窗观察运动,执行器的位置通过穿透器本体上的激光刻度标尺进行跟踪,刻度间距为 0.025″(0.635 mm)。黑色阳极氧化表面提高了刻度的对比度,可读性更高。执行器顶部设有手动 位置锁,操作过程中可确保位置固定。

采用 UHV 或 HV 兼容材料 制造,配备焊接不锈钢波纹管和线性轴承支撑,保证平稳可靠的运动。提供 Conflat® CF 法兰ISO KF Kwik-Flange™ 弹性密封法兰 安装选项,适用于各种真空应用。

行业应用

MDC 齿条与小齿轮穿透器广泛应用于薄膜沉积、表面分析、材料传输系统及科研真空腔室中,需要快速手动线性调节的场合。适用于半导体设备、等离子反应器及光束线(beamline)装置,确保定位精确,结构坚固且洁净。

产品型号

部件号真空系列法兰尺寸线性行程A-MINA-MAXB-MINB-MAX
666000UHV1-1/32.003.555.556.58.5
666002UHV1-1/34.003.557.5510.014.0
666004UHV1-1/36.003.559.5513.019.0
666001UHV2-3/42.003.555.556.58.5
666003UHV2-3/44.003.557.5510.014.0
666005UHV2-3/46.003.559.5513.019.0
666006HVNW162.003.435.436.628.62
666010HVNW164.003.437.4310.1214.12
666014HVNW166.003.439.4313.1219.12
666008HVNW402.003.605.606.458.45
666012HVNW404.003.607.609.9513.95
666016HVNW406.003.609.6012.9518.95

主要特性

  • 线性行程范围:2″ 至 6″(50.8 至 152.4 mm)

  • 手动齿条与小齿轮执行器,兼具精细与快速控制

  • 激光刻度标尺,间距 0.025″(0.635 mm)

  • 线性位置锁,确保操作稳定

  • UHV 和 HV 兼容材料,适合洁净真空环境

  • 焊接波纹管密封,保证运动传递的气密性

  • 可耐高温烘烤至 100°C(212°F)

  • 安装端口选项:Conflat® CFKwik-Flange™ ISO KF