MDC 重型千分尺式直线运动传送装置,MDC UHV直线馈通668002

重型千分尺式直线运动传送装置

重型千分尺直线运动传送装置专为在超高真空（UHV）环境中实现较重样品和部件的精密线性移动而设计。该装置采用高精度微分头（千分尺）驱动器，可提供 2 英寸（50.8 mm）的线性行程。
其配备激光蚀刻的旋转与线性刻度，用于位置反馈：旋转刻度的分辨率为 0.0001 英寸（0.0025 mm），线性刻度的分辨率为 0.025 英寸（0.635 mm）。微分头旋钮每旋转一圈，即可实现 0.025 英寸（0.635 mm）的线性位移。
装置采用回焊式波纹管结构，配备更大直径的传动轴，以提高刚性、强度及负载下的稳定性。本型号兼容 2-3/4 英寸（69.85 mm）Conflat® CF 金属密封法兰，可轻松集成至真空腔体中。

行业应用

该高精度运动传送装置广泛应用于超高真空（UHV）环境中的半导体加工、材料研究、光束线定位及低温系统中。其坚固的设计与精密的千分尺驱动使其非常适合用于样品操控、目标对准以及科研和工业领域的分析仪器。

英制 / 公制对照表

主要特征：

• 2 英寸（50.8 mm）线性行程范围

• 高精度千分尺驱动器，手动控制操作

• 采用超高真空（UHV）兼容材料制造

• 回焊波纹管密封，确保高真空密封性能

• 可烘烤至 100°C（212°F），兼容真空系统

• 通过 2-3/4 英寸（69.85 mm）Conflat® CF 法兰安装