气动直线运动
MDC 的气动直线运动穿透器专为真空环境下的快速双位置运动控制而设计,非常适合用于快门、门控装置和定位机构。这些装置利用耐用的气动执行器实现快速的开/关、进/出或开/闭动作。
每个单元都配有可调节的行程限位,通过顶部调节旋钮进行设置。1 英寸型号的行程范围为 0″ 至 1″(0 至 25.4 mm),2 英寸型号为 1″ 至 2″(25.4 至 50.8 mm)。锁紧螺母可固定设定位置。为便于观察,装置本体上带有激光蚀刻的刻度标记,刻度间隔为 0.025″(0.635 mm),黑色阳极氧化处理增强了高对比度的可读性。
装置采用 UHV 和 HV 兼容材料制造,设计包括焊接不锈钢波纹管和线性轴承支撑,确保运动平稳且密封可靠。这些穿透器兼容 Conflat® CF 法兰和 ISO KF Kwik-Flange™ 安装方式,并配有空气控制电磁阀,最大工作压力可达 100 PSIG(6.9 bar)。
行业应用
这些气动穿透器非常适合真空自动化、快门驱动、样品加载和测试腔体,广泛应用于半导体制造、表面科学和等离子体研究。可调节的行程、洁净操作和快速循环性能,使其成为 HV/UHV 环境中需要速度与精度的可靠选择。
表格示例:
| 真空系列 | 法兰尺寸 | 线性行程 | A-MIN | A-MAX | B-MIN | B-MAX | PART |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| UHV | 1-1/3 | 1.00 | 3.55 | 4.55 | 8.5 | 9.5 | 662000 |
| UHV | 1-1/3 | 2.00 | 3.55 | 5.55 | 11.0 | 13.0 | 662004 |
| UHV | 2-3/4 | 1.00 | 3.55 | 4.55 | 8.5 | 9.5 | 662002 |
| UHV | 2-3/4 | 2.00 | 3.55 | 5.55 | 11.0 | 13.0 | 662006 |
| HV | NW16 | 1.00 | 3.43 | 4.43 | 8.6 | 9.6 | 662008 |
| HV | NW16 | 2.00 | 3.43 | 5.43 | 11.1 | 13.1 | 662012 |
| HV | NW40 | 1.00 | 3.60 | 4.60 | 8.5 | 9.5 | 662010 |
| HV | NW40 | 2.00 | 3.60 | 5.60 | 11.0 | 13.0 | 662014 |
主要特点
1 至 2 英寸(25.4 至 50.8 mm)线性行程
气动执行器,实现双位置快速动作
可调节行程限位,带锁紧螺母固定
激光蚀刻刻度,间隔 0.025″(0.635 mm)
UHV 和 HV 兼容结构
焊接波纹管密封,确保泄漏可靠
可耐高温烘烤至 100°C(212°F)
法兰接口选项:Conflat® CF 和 Kwik-Flange™ ISO KF
配备空气控制电磁阀
最大电磁阀压力:100 PSIG(6.9 bar)
