重型气动线性运动
MDC重型气动线性运动穿透器专为真空内较重组件的两位置快速动作设计。它们适用于可重复的开-关或进-出运动，非常适合真空快门系统、载物锁或需要速度与一致性的自动机械功能。
提供固定行程长度：1英寸（25.4 mm）、2英寸（50.8 mm）或3英寸（76.2 mm），样品位置不可调节。运动由气动执行器驱动，可与最大压力为100 PSIG（6.9 bar）的气控电磁阀配合使用。
每个单元均由UHV兼容材料制成，保证真空环境下的清洁操作，并配有焊接不锈钢波纹管密封，在运动过程中维持真空完整性。所有型号均安装于行业标准Conflat® CF法兰，确保与超高真空系统设计兼容。
行业应用
MDC重型气动穿透器非常适合高负载、高速真空自动化，常用于半导体工艺腔室、等离子体刻蚀系统、光束线接口以及真空内机械门或快门。其固定行程的可靠性、UHV兼容性和快速动作，使其在精密、洁净环境中不可或缺。
尺寸参数
| 真空系列 | 线性行程 |
|---|---|
| UHV | 1.00 英寸 |
| UHV | 2.00 英寸 |
| UHV | 3.00 英寸 |
主要特性
1 至 3 英寸（25.4 至 76.2 mm）线性行程（固定行程）
气动执行器实现两位置操作
高负载能力，适用于较大真空内组件
UHV兼容结构，适合洁净真空应用
焊接波纹管密封，实现严密防漏
可耐受烘烤温度至100°C（212°F）
气控电磁阀最大压力：100 PSIG（6.9 bar）
Conflat® CF法兰安装，便于系统集成
