MDC熔融石英视窗,MDC真空视窗9722013/9723005/9721005,MDC Base UV/DUV-200/EUV-185视窗

熔融石英视窗

MDC 熔融石英视窗专为高真空和超高真空(UHV)应用设计,要求具有优异的光学透明度、紫外透过率和热稳定性。视窗采用合成熔融石英、304 不锈钢及真空兼容钎料合金制造,非常适合需要最小荧光、低析气及稳定光学性能的系统。

熔融石英是一种多晶、各向同性材料,确保物理、热学、电学及光学性能在所有方向上均一致。MDC 提供三种材料等级:

  • Base UV(基础 UV,≥80%/cm @185nm)

  • DUV-200(相当于 Suprasil-1®)

  • EUV-185(准分子 UV,≥85%/cm @185nm)

根据需求,还可提供红外型号,透过长度可达 141.7 英寸(3600 mm),OH 含量 <1 ppm。MDC 标准光学表面处理为 40-20 划痕-凹点等级,深紫外应用可选 20-10 表面等级。

行业应用

熔融石英视窗广泛应用于半导体加工、UV 激光光学、表面科学、质谱分析及薄膜沉积系统。其优异的 UV 透过率、耐热冲击性能及在真空环境中的耐用性,使其成为高精度光学和分析仪器的关键组件。特殊材料等级支持准分子激光、深紫外光谱学及红外诊断应用。

零件列表(示例)

零件号安装类型镜片等级镜片尺寸法兰尺寸ABCDEFGH
9722013CONFLATUV3/41.330.630.1001.330.170.29
9722005CONFLATUV1-1/22.731.400.1302.730.350.50
9722207CONFLATDUV-2002-1/24.472.690.254.470.410.68
9722301CONFLATEUV-1851-1/22.731.400.1302.730.350.50
9723005KWIK-FLANGEUV3/4K100
9721005WELD-ABLEUV1-1/21-1/21.401.301.781.4950.680.810.251.44

注:表中 A-H 为零件相关尺寸参数,可根据具体零件号参考对应规格。

关键特性

  • 合成熔融石英,具有优异的紫外透过性能

  • 提供标准及零长度视窗几何结构

  • 标配 40-20 划痕-凹点光学表面,可满足大多数应用

  • 可选 20-10 划痕-凹点表面,用于波长 <0.25 µm 的深紫外应用

  • 兼容 UHV 系统及烘烤环境

  • 可根据需求提供定制穿透配置(Feedthrough)

  • 高耐磨性及低热膨胀系数,降低热冲击风险

  • 材料选项包括 DUV-200、EUV-185 及低 OH 含量红外熔融石英

 

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