MDC 可变泄漏阀
MDC 的可变泄漏阀为超高真空（UHV）系统提供超高精度的气体流量控制，可实现低至 1×10⁻¹⁰ Torr·l/sec 的可调泄漏速率。
产品可选 精密型（Precision） 或 微调型（Fine），均采用全金属结构，支持高达 450°C 的烘烤使用。
产品系列：
微调泄漏阀（Fine Leak Valves）
精密泄漏阀（Precision Leak Valves）
产品概述
MDC 的可变泄漏阀专为高真空（HV）和超高真空（UHV）系统中的精细与精密气体控制而设计。
产品提供两种系列：
MLV 系列（Fine Leak Valves，微调型）
ULV 系列（Precision Leak Valves，精密型）
两种型号均为手动操作设计，适用于控制热性、腐蚀性或反应性气体的进入，确保出色的密封性能。
微调泄漏阀（MLV 系列）
泄漏速率可调低至 7.5×10⁻⁸ Torr·l/sec（9.99×10⁻⁷ Pa·l/s），
采用 Stellite 高温合金阀座 和 可更换镍隔膜，
阀体由 304 不锈钢 制成，耐温高达 450°C（842°F），性能稳定可靠。
精密泄漏阀（ULV 系列）
提供更高精度控制，泄漏速率可调低至 1×10⁻¹⁰ Torr·l/sec（1.33×10⁻⁹ Pa·l/s）。
采用 蓝宝石阀瓣 与 OFE 铜阀座，确保长期高精度密封性能。
配备 悬臂式手动执行机构，带超细螺纹，可实现极高分辨率的泄漏速率调节。
行业应用
MDC 的可变泄漏阀广泛应用于：
超高真空腔体
科研实验室
等离子体物理
表面科学系统
薄膜沉积设备
凭借出色的耐高温烘烤性能与化学兼容性，这些阀门非常适用于：
精密压力调节
校准气体泄漏
残余气体分析（RGA）
在航天、半导体、材料科学等对泄漏控制与精密调节要求极高的领域中，MDC 可变泄漏阀均能确保稳定、可靠的性能。
相关型号
➡ 微调泄漏阀（Fine Leak Valves）
➡ 精密泄漏阀（Precision Leak Valves）
微调泄漏阀（Fine Leak Valves） MDC 的全金属 MLV 系列微调泄漏阀专为在超高真空（UHV）系统中实现精确气体导入而设计。 每只阀门在出厂前均经过严密的泄漏检测，确保完全密封，泄漏速率可调低至 7.5×10⁻⁸ Torr·l/sec（1×10⁻⁷ mbar·l/sec）。 MDC 的微调泄漏阀广泛应用于以下领域： 表面科学研究 半导体制造 空间模拟系统 质谱分析 薄膜沉积系统 在这些需要精确气体控制、化学兼容性及超高真空可靠性的应用中，微调泄漏阀表现出色。 泄漏速率可调低至 7.5×10⁻⁸ Torr·l/sec（1×10⁻⁷ mbar·l/sec） 适用于最高 450°C（842°F） 的高温环境 Stellite 超级合金阀座，具有卓越的耐热与耐化学腐蚀性能 可更换镍隔膜密封，降低维护成本 手动执行机构，配有干膜润滑机构，确保操作顺畅 304 不锈钢结构，耐腐蚀性强 采用 Conflat® CF 法兰接口，便于标准超高真空系统集成
这些阀门采用手动操作，特别适用于在关键科研与工艺环境中控制高温或腐蚀性气体。
阀体由 304 型不锈钢 制成，刀口式阀座采用 Stellite 高温耐蚀超级合金 制造，具有优异的耐腐蚀性和耐高温性能。
气体流量的调节通过释放可更换镍隔膜上的压力实现。
阀门可完全关闭，但若频繁执行全闭操作，可能会缩短隔膜寿命，因此建议定期更换以保持最佳性能。行业应用
其具有长寿命、低逸出（outgassing）的特性，非常适合用于洁净室、科研实验室及真空生产系统，特别是需要在高温条件下实现精密泄漏控制的场合。产品型号
部件号 描述 315002 阀门，1-1/3 CF 法兰 315003 阀门，管焊式接口 315000 阀门（公制），1-1/3 CF 法兰 315001 阀门（公制），管焊式接口 931585 镍隔膜（可更换） 主要特性
